| 研究課題/領域番号 |
21310085
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
木村 康男 東北大学, 電気通信研究所, 准教授 (40312673)
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| 研究分担者 |
平野 愛弓 東北大学, 大学院・医工学研究科, 准教授 (80339241)
庭野 道夫 東北大学, 電気通信研究所, 教授 (20134075)
青沼 有紀 東北大学, 電気通信研究所, 助教 (80582262)
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| キーワード | 自己組織化 / 量子ドット / 単電子 / 室温動作 / 陽極酸化 / ポーラスアルミナ / 酸化チタンナノチューブ |
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| 研究概要 |
分子デバイスやナノデバイスのような新しいデバイスを集積化するためのプロセス技術の開発が急務となっている。ナノデバイスの集積化のためには、決められた位置にナノ構造体を作製する必要がある。そのためには、位置制御を得意とするトップダウンプロセスと自己組織的にナノ構造を作製するボトムアッププロセスとを組み合わせた新しい微細加工技術の開発が欠かせない。本研究は、ボトムアッププロセスとしての固液界面反応場を利用したバルブメタルの陽極酸化過程とフォトリソグラフィ技術とを融合させ、任意の位置にナノ構造を自己組織的に作製できるセルフアラインナノ加工技術を開発することを目標とする。この目標を達成するために本年度は、FIBを用いて作製した数百nm四方程度の微細領域における陽極酸化の過程を調べた。その結果、微細領域においても陽極酸化によってポーラスアルミナが形成できることがわかった。これは、より現実的なサイズの電子デバイスを陽極酸化によって作製できることを示唆している。さらに、DCマグネトロンスパッタ装置を用いてチタン膜を多孔質から緻密な膜まで堆積できることを示し、多孔質チタン膜は、色素増感太陽電池の対極材料として有望な材料であることを示した。また、緻密なチタン薄膜をフッ化アンモニウムと水とを溶質とする有機電解液を用いて陽極酸化することにより、導電性及び絶縁性基板上に酸化チタンナノチューブ膜を形成することに成功した。これは、アルミニウムだけでなく、チタンの陽極酸化によっても電子デバイスを作製できる可能性を示唆している。
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