研究課題
基盤研究(B)
本研究では、アルミニウムの陽極酸化過程とフォトリソグラフィ技術などのトップダウンプロセスとを組み合わせたハイブリッドプロセスを開発し、それを用いてセルフアライン室温動作単電子トランジスタ(SET)を作製した。さらに、バルブメタルの1つであるチタン(Ti)の陽極酸化過程を制御することにより、酸化チタン(TiO_2)ナノチューブ膜を基板上へ直接形成し、それを微小ガスセンサやDSCなどのデバイスへ応用した。
すべて 2011 2010 2009 その他
すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (9件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)
Jpn. J. Appl. Phys
巻: 50 ページ: 082303
巻: 49 ページ: 122302
Nanoscale
巻: 2 ページ: 107-113
http://www.niwano.riec.tohoku.ac.jp/