| 研究課題/領域番号 |
21340063
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| 研究機関 | 佐賀大学 |
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研究代表者 |
杉山 晃 佐賀大学, 理工学部, 教授 (80187674)
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| 研究分担者 |
松澤 昭 東京工業大学, 工学研究科, 教授 (80361781)
身内 賢太朗 京都大学, 理学研究科, 助教 (80362440)
田中 真伸 高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 准教授 (00222117)
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| キーワード | ピクセル型読み出し回路 / マイクロパターンガス検出器 / ASIC / ポストプロセス |
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| 研究概要 |
読み出し回路については、基本機能回路(電荷増幅、逐次比較ADC)のTEGを作り回路としての動作確認をおこない、これをもとに統合し16チャンネル実装した回路を試作した。これをテスト基盤に4チップ実装し1ミリ角の読み出しパッド(8×8)に接続し、ガス信号の読み出し試験をおこなった。α線を用いたガス信号による試験では、TDC、TOT、ADCの信号の整合性を測定したが、回路の増幅度、ノイズ混入およびDACの校正に関してはまだまだ改良の余地があることを確認した。これらをもとに200μ角の20×20ピクセルの読み出し回路の設計、レイアウトをおこない試作をおこなった。この回路の評価が2年目の課題となる。
ポストプロセスによるガス増幅機構の構築に関しては、周辺機器や薬品(ワニス、エッチング液)の準備を進め、50μ厚の均一な膜生成をシリコンウェハー上で実現する試験をおこなった。現像液による樹脂の現像についても試験を進め、パターニングの準備が整った。
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