研究課題
基盤研究(B)
次世代XYZ3軸超精密平面ステージなどの計測制御のために, シングルレーザ入射ビームとサーフェス微細格子を用いた回折光干渉型XYZ3軸サーフェスエンコーダという全く新しいXYZ3軸変位の計測原理を提案した.また, ステージに搭載可能な小型センサヘッドを試作し, シングル計測ポイントからの情報でステージのXYZ3軸変位を100mm(X)x100mm(Y)x1mm(Z)の範囲に渡って0. 1nmの分解能で一括計測できることを実証した.
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http://www.nano.mech.tohoku.ac.jp/