自己組織化現象を利用した三次元ナノ構造作製技術

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21360059
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 割澤 伸一 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 (20262321)
• 研究分担者: 石原 直 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00422329) ; 米谷 玲皇 東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師 (90466780)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: ナノ・マイクロ加工 / 自己組織化 / 三次元ナノ構造 / ブロック共重合体 / 集束イオンビーム化学気相成長法 / テンプレート / 多層膜 / 自由膜

研究概要

ポリスチレンとポリメチルメタクリレートのジブロック共重合体が持つ自己組織化現象によって構成される30～100nm程度のピラー,ポア,膜の各自己組織化ナノ構造を三次元ナノ構造として作製する技術を開発した。具体的には,(1)三次元ナノ構造表面に自己組織化構造を配置する方法,(2)ナノテンプレートを利用して三次元的に自己組織化構造の配列を制御する方法,(3)自己組織化構造をテンプレートにした多層膜を作製する技術,(4)三次元ナノフレームに自己組織化自由膜を作製する方法,(5)エネルギービーム照射による自己組織化構造のナノパターンニング技術,(6)集束イオンビーム照射による薄膜接合技術を提案し,実験により可能性を示した。

研究成果

• [雑誌論文] Gradually shifting surface plasmon resonance by controlling the diameter of a nano-hole structure by self-assembly (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Takagi, R. Kometani, S. Ishihara, S. Warisawa
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technolo. B 巻: 29 ページ: 06FF03-1-5
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nanostructure fabrication by self-assembly of block copolymers on three-dimensional diamond-like carbon structures (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Mino, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
  • 雑誌名: J. Vac. Sci. Technol. B 巻: 20 ページ: C6B20
  • 査読あり
• [学会発表] Selective Patterning of Self-Assembled Block Copolymer Thin Films by Electron Beam Lithography (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Suzuki, R. Kometani, S. Warisawa and S. Ishihara
  • 学会等名: 2011 MRS Fall Meeting & Exhibit, Hynes Convention Center
  • 発表場所: Boston, USA
  • 年月日: 20111100
• [学会発表] Fabrication of Self-Assembled Cylindrical Structures within Free-Standing Block Copolymer Ultrathin Membranes (2011)
  • 著者名/発表者名: S. Warisawa, H. Mino, R. Kometani and S. Ishihara
  • 学会等名: 2011 MRS Fall Meeting & Exhibit, Hynes Convention Center
  • 発表場所: Boston, USA
  • 年月日: 20111100
• [学会発表] Patterning and Carbonization of Block Copolymer Self-assembled Structures by Focused-ion-beam (2011)
  • 著者名/発表者名: S. Warisawa, R. Mitsuhashi, R. Kometani and S. Ishihara
  • 学会等名: 24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2011)
  • 発表場所: ANA Hotel Kyoto, Kyoto, Japa
  • 年月日: 20111000
• [学会発表] A gradually shifted surface plasmon resonance with a controlled diameter of a nano-hole structure by self-assembly technique (2011)
  • 著者名/発表者名: T. Takagi, K. Kurihara, K. Awazu, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
  • 学会等名: The 55th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication(EIPBN2011)
  • 発表場所: Las Vegas, Nevada, USA
  • 年月日: 20110600
• [学会発表] Multi-Layer Block Copolymer Self-Assembled Structures Using Tilted Pillar Templates (2011)
  • 著者名/発表者名: S. Warisawa, J. G. Son, J. B. Chang, C. Ross, K. Berggren
  • 学会等名: The 55th EIPBN Conference, 1A-1
  • 発表場所: Las Vegas, Nevada
  • 年月日: 2011-07-01
• [学会発表] Nanostructure Fabrication by Self-assembly of Block Copolymer on 3-D DLC Structure (2010)
  • 著者名/発表者名: H. Mino, R. Kometani, S. Warisawa, S. Ishihara
  • 学会等名: The 54th International Conference on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication(EIPBN2010)
  • 発表場所: Anchorage, Alaska, USA
  • 年月日: 2010-07-02