研究課題
基盤研究(B)
微細箔状素子のフレキシブルな製造方法として,金型を使用しないマイクロインクリメンタルフォーミング技術を開発し,最小の形状寸法が50ミクロン程度のアルミ箔の微細シェル構造を成形した.成形したアルミ箔の微細構造に,必要に応じて酸化ハフニウムあるいは窒化チタンのコーティングを施した後,水酸化カリウム溶液中で,成形した微細構造部のアルミ箔のみを選択的にエッチングすることにより,セラミック薄膜のみの微細三次元構造体を作成することができた.
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すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (4件)
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