研究課題
基盤研究(B)
三次元の表面性状測定機の校正や測定性能を検証するための測定標準面の設計指針並びに実量器の製造及び複製技術の開発を行った。慣習的な触針式表面粗さ測定機を対象に、二次元及び三次元の不規則凹凸データを新規の数学モデルで生成させ、超精密加工機による除去加工で実量器を製作した。また、電鋳及びナノインプリント技術により金型の複製を試み、実用化のための基礎的技術資料を得た。さらに、光学式表面性状測定機の測定性能を検証するため、最大傾斜を一定とする擬似的なチャープ信号波形を集束イオンビーム加工機で創製した。これらの標準面実量器に対して、不確かさを考慮した値付けを試み、使用法の指針を明らかにした。最終的に、本研究課題で得られた知見を総合してISO/TC213 WG16での規格草稿案に新規項目として盛り込む事ができた。
すべて 2012 2011 2010 2009
すべて 雑誌論文 (9件) 学会発表 (9件)
精密工学会誌
巻: 77, 4 ページ: 428-432
13th Int. Conf. on Metrology and Properties of Engineering Surfaces, Journal of Physics : Conference Series 311, IOP Publishing
巻: 012009 ページ: 1-7
doi:10.1088/1742-6596/311/012009
Wear
巻: 271 ページ: 565-570
巻: 76, 3 ページ: 349-353
Wear Special Issue
doi:10.1016/j.wear.2010.04.030
doi:10.1016/j.wear.2010.04.035
Measurement Science and Technology
巻: 21
Doi:10.1088/0957-0233/21/10/105105
巻: 20 ページ: 084023(7)
巻: Vol.20No.12 ページ: 125105-125108
doi:10.1088/09-0233/20/12/125105