ディスペンサと精密ステージを利用した能動制御微粒子整列

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21360065
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 首都大学東京
• 研究代表者: 諸貫 信行 首都大学東京, システムデザイン学部, 教授 (90166463)
• 研究分担者: 金子 新 首都大学東京, システムデザイン学部, 准教授 (30347273) ; 田中 靖紘 首都大学東京, システムデザイン学部, 特任助教 (80568113)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: ディスペンサ / 微粒子 / 自己整列 / 制御 / 位置決め / 研磨工具 / 転写

研究概要

自己整列微粒子は機能デバイスや各種プロセスのマスクに適用できる多様性があるものの,微粒子を分散させた懸濁液から基板を引上げる従来の手法では限られた微粒子を狭い範囲にしか整列できてない.そこで,ディスペンサと精密ステージを組合せて基板上での懸濁液の濡れ広がりを制御し,多様な微粒子を大面積にマスクレスで整列するための方法を提案するとともに,樹脂を用いた反転転写による固定法と研磨工具への応用を検討した.

研究成果

• [雑誌論文] Patterned Self-Assembly of Fine Particles as a Proposal of Precisely Allocated Cutting-Edge Tool (2011)
  • 著者名/発表者名: N. Moronuki, A. Kaneko, and K. Takada
  • 雑誌名: Int. J. of Automation Technology 巻: Vol.5, No.3 ページ: 289-293
  • 査読あり
• [雑誌論文] Instability Phenomenon in Dip-Coating Process for Self-Assembly of Fine Particles and Design Countermeasures (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Nishio, N. Moronuki, and A. Kaneko
  • 雑誌名: Int. J. of Automation Technology 巻: Vol.5, No.5 ページ: 688-693
  • 査読あり
• [学会発表] パターン化自己整列微粒子の研磨工具への応用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 張文儒,諸貫信行
  • 学会等名: 精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] Patterned Self-assembly of Fine Particles and Its Application to Polishing Tool (2011)
  • 著者名/発表者名: N. Moronuki and W. R. Zhang
  • 学会等名: LEM2011
  • 発表場所: Omiya
  • 年月日: 2011-11-10
• [学会発表] Patterned self-assembly of fine particles and their transfer/replication to produce complex microstructures (2011)
  • 著者名/発表者名: N. Moronuki, K. Narita, and A. Kaneko
  • 学会等名: euspen
  • 発表場所: Como
  • 年月日: 2011-05-25
• [学会発表] インプリントを用いた自己整列微粒子の材料転写/形状転写(第2報)-加圧条件が転写深さと転写面内における均質性に及ぼす影響- (2011)
  • 著者名/発表者名: 成田行人,諸貫信行,田中靖紘,金子新
  • 学会等名: 精密工学会春季大会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-03-14
• [学会発表] Combination of Mechatronics Control and Self-organizing process to Produce Large-scale/patterned Self-assembly of Fine Particles (2010)
  • 著者名/発表者名: N. Moronuki, W. R. Zhang, and A. Kaneko
  • 学会等名: 14th International Conference on Mechatronics Technology
  • 発表場所: Osaka
  • 年月日: 2010-11-25
• [学会発表] 微粒子の自己整列と研磨工具への応用 (2010)
  • 著者名/発表者名: 諸貫信行,張文儒
  • 学会等名: 日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会
  • 発表場所: 岡山
  • 年月日: 2010-11-20
• [学会発表] Patterned self-assembly of fine particles as a proposal of precisely allocated cutting-edge tool (2010)
  • 著者名/発表者名: N. Moronuki, A. Kaneko And K. Takada
  • 学会等名: CIRP International Conf. on High Performance Cutting
  • 発表場所: Gifu
  • 年月日: 2010-10-26
• [学会発表] インプリントを用いた自己整列微粒子の材料転写/形状転写 (2010)
  • 著者名/発表者名: 成田行人,諸貫信行,田中靖紘,金子新
  • 学会等名: 精密工学会秋季大会
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 2010-09-27
• [学会発表] 微粒子自己整列の大面積化 (2010)
  • 著者名/発表者名: 張文儒,諸貫信行,田中靖紘,金子新
  • 学会等名: 日本機械学会年次大会
  • 発表場所: 名古屋
  • 年月日: 2010-09-08
• [学会発表] Patterned Self-assembly of Fine Particles by the Combination of Dispenser and Positioning Stage (2010)
  • 著者名/発表者名: N. Moronuki, K. Takada, W. R. Zhang, A. Kaneko
  • 学会等名: euspen
  • 発表場所: Delft
  • 年月日: 2010-06-03
• [図書] 微細構造から考える表面機能 (2011)
  • 著者名/発表者名: 諸貫信行
  • 総ページ数: 199
  • 出版者: 森北出版
• [備考]
  • URL: http://www.comp.tmu.ac.jp/prost/