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2010 年度 実績報告書

カーボン系薄膜の極低摩擦のメカニズム追求とその応用に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 21360076
研究機関日本工業大学

研究代表者

三宅 正二郎  日本工業大学, 工学部, 教授 (70229813)

キーワードトライボロジー / ダイヤモンドライクカーボン膜 / 境界潤滑 / ナノ周期積層膜 / 原子間力顕微鏡
研究概要

1. 極低摩擦を実現するカーボン系薄膜の形成
平成22年度には前年度の結果をもとにナノ周期積層膜を主体とするカーボン系薄膜の形成条件を適正化し,カーボンと金、銀およびカーボンとチタンカーバイトの積層膜を形成した。さらにその構造,組成をラマン、オージェ電子分光で評価した。さらに原子間力顕微鏡を用いてナノメートルスケールの摩擦・摩耗など機械特性を評価している。具体的には原子オーダのナノ摩耗深さと物性値の変化から積層状態などを評価している。
さらにカーボンを主成分として金属など他種材料を組み合わせたナノコンポジット膜を中心に構造と境界潤滑特性の関係を追及し、境界潤滑下でμ=0.05以下の低摩擦を実現した。添加金属と膜形成条件を含め最適化を図り,その結果を研究成果として論文にまとめている。
2. 境界潤滑特性の評価と極低摩擦の実現
カーボン系薄膜,カーボン系積層膜,ナノコンポジット膜について,合成潤滑油による境界潤滑特性の検討を行っている。この際,購入した卓上電子顕微鏡、既設の原子間力顕微鏡などで摩擦面,相手試験片の形状,形態測定を行い,低摩擦および低摩耗が得られる条件を検討した。この結果、現状で,自動車のエンジンに実用化されている水素フリーDLC膜のポリアルファオレフィン潤滑におけるμ=0.06より低い値を実現している。
3. 摩擦生成物の評価による摩擦生成物の生成メカニズムの解明
境界潤滑条件下で表面に形成される反応生成膜が大きな影響を与えていることが明らかになりその形成メカニズムを検討している。10nm以下の力学特性評価として,評価方法として,機械特性評価に電気的特性の評価を複合し,比較検討している。この際,反応生成物の機械的なナノ評価と電気特性評価を実現している。

  • 研究成果

    (14件)

すべて 2010

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (11件)

  • [雑誌論文] 潤滑油形成磁気ディスクの摩擦耐久性の温度依存性2010

    • 著者名/発表者名
      黒坂渡、三宅正二郎
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 77,3 ページ: 290-295

    • 査読あり
  • [雑誌論文] ナノ構造制御によるダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜のトライボロジー特性向上2010

    • 著者名/発表者名
      三宅正二郎
    • 雑誌名

      Material Technology(材料技術研究協会)

      巻: 28,5 ページ: 205-213

  • [雑誌論文] マイクロ・ナノ機械研究室の研究概要-磁気ディスク装置,自動車用部品への応用-2010

    • 著者名/発表者名
      三宅正二郎
    • 雑誌名

      日本工業大学報告

      巻: 40,4 ページ: 81-84

  • [学会発表] 金とカーボン系素材からなるナノ周期積層膜のトライボロジー特性2010

    • 著者名/発表者名
      進藤貴徳、齊藤雄太、三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010秋福井
    • 発表場所
      福井大学文京キャンパス
    • 年月日
      2010-09-15
  • [学会発表] 環境制御型走査プローブ顕微鏡を用いた極薄ダイヤモンドライクカーボン膜の高温トライボロジー特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      川崎信太郎、坪田大志、三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010秋福井
    • 発表場所
      福井大学文京キャンパス
    • 年月日
      2010-09-15
  • [学会発表] 潤滑膜形成磁気ディスクの同時加熱時の境界潤滑特性2010

    • 著者名/発表者名
      金沢年郎、黒坂渡、三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010秋福井
    • 発表場所
      福井大学文京キャンパス
    • 年月日
      2010-09-14
  • [学会発表] 原子間力顕微鏡による極薄ダイヤモンドライクカーボン膜形成シリコンのトライボナノ加工特性2010

    • 著者名/発表者名
      坪田大志、川崎信太郎、三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010秋福井
    • 発表場所
      福井大学文京キャンパス
    • 年月日
      2010-09-14
  • [学会発表] 極薄ECR-スパッタカーボン膜のトライボロジー特性のバイアス電圧依存性2010

    • 著者名/発表者名
      小澤勇紀、金沢年郎、三宅正二郎、廣野滋、黒田久雄
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010秋福井
    • 発表場所
      福井大学文京キャンパス
    • 年月日
      2010-09-14
  • [学会発表] 電子サイクロトン共鳴プラズマ,フィルタードアークイオンプレーティング法により形成されたDLC膜の高温トライボロジー特性2010

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太、三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010秋福井
    • 発表場所
      福井大学文京キャンパス
    • 年月日
      2010-09-14
  • [学会発表] 極薄DLC膜の高温トライボロジー特性2010

    • 著者名/発表者名
      川崎信太郎, 齊藤雄太, 進藤貴徳, 黒坂渡, 三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010春東京
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2010-05-18
  • [学会発表] カーボン系ナノ周期積層膜のトライボロジー特性2010

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太, 黒坂渡, Mei Wang, 三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010春東京
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2010-05-18
  • [学会発表] 潤滑膜形成磁気ディスクの境界潤滑特性の温度依存性2010

    • 著者名/発表者名
      金沢年郎, 黒坂渡, 三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010春東京
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2010-05-18
  • [学会発表] 極薄DLC膜形成Siのトライボナノ加工2010

    • 著者名/発表者名
      坪田大志, 川崎信太郎, 三宅正二郎
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010春東京
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2010-05-18
  • [学会発表] 極薄ECR-スパッタカーボン膜のナノ摩耗特性2010

    • 著者名/発表者名
      小澤勇記, 金沢年朗, 三宅正二郎, 廣野滋, 黒田久雄
    • 学会等名
      トライボロジー会議2010春東京
    • 発表場所
      国立オリンピック記念青少年総合センター
    • 年月日
      2010-05-18

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公開日: 2012-07-19  

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