| 研究分担者 |
松本 壮平 独立行政法人産業技術総合研究所, 集積マイクロシステム研究センター, 研究チーム長 (70358050)
藪野 浩司 慶応義塾大学, 理工学部, 教授 (60241791)
黒田 雅治 独立行政法人産業技術総合研究所, ナノシステム研究部門, 主任研究員 (60344222)
山本 泰之 独立行政法人産業技術総合研究所, 計測標準研究部門, 研究員 (00398637)
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| 研究概要 |
小型で汎用性の高い粘性センサを, MEMS技術を用いて開発することを目的として,研究を行った.本研究課題により,粘性センサの基本構造の製作方法が完全に確立し,ひずみゲージの内載化にも成功した.また,センサホルダーを製作し,粘度測定を行い,理論と合致する波形を得て,粘度を数%の偏差で測定できることを確認した.さらに,自励発振現象を用いた粘性測定の理論と,実験的検証に関連して,新たに8件の特許を出願し,これまでの振動粘度計では測定が困難であった高粘性液体の粘性測定に成功した.
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