振動下でも使用できる超高精度3次元形状計測技術の開発

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21360115
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 金沢大学
• 研究代表者: 安達 正明 金沢大学, 機械工学系, 教授 (50212519)
• 研究分担者: 榎本 文彦 金沢大学, 電子情報学系, 助教 (80135045) ; 秋田 純一 金沢大学, 電子情報学系, 教授 (10303265)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 光干渉 / 3次元形状 / 位相抽出 / 振動 / 高精度計測

研究概要

振動下にある垂直走査型干渉計の光路差変化をレーザでリアルタイムかつ高速高精度に計測する手法を開発し,変化情報を基に一定の位相変化終了後毎にLED光を瞬間点灯させ干渉縞を撮影した.この手法で計測した形状結果を分析しさらなる高精度化には点灯 & 露光中に加わる振動もその影響を補正する必要を見出し,露光中の光路差変化履歴を基に振動影響を補正して位相を抽出する方法も開発し,その効果を実験で確認した.

研究成果

• [雑誌論文] 振動環境下で撮影された干渉像からの高精度位相抽出 (2011)
  • 著者名/発表者名: 安達正明(他2名, 1番目)
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 77巻 ページ: 502-506
  • 査読あり
• [雑誌論文] 干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直走査域100μmでの光路差変化の高精度測定 (2010)
  • 著者名/発表者名: 安達正明(他2名, 1番目)
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 76巻 ページ: 834-839
  • 査読あり
• [雑誌論文] 振動環境でも利用できる垂直走査型光干渉応用形状計測技術 (2009)
  • 著者名/発表者名: 安達正明(他3名, 1番目)
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: 75巻 ページ: 1299-1304
  • 査読あり
• [学会発表] 振動環境下で撮影された白色干渉像からの高精度形状計測 (2011)
  • 著者名/発表者名: 安達正明(他2名, 3番目)
  • 学会等名: 2011年精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 金沢大学(石川県)
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] 露光中の光路差変化情報を用いた低輝度光源干渉像からの位相抽出の高精度化 (2010)
  • 著者名/発表者名: 安達正明(他2名, 3番目)
  • 学会等名: 2010年精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 名古屋大学(愛知県)
  • 年月日: 2010-09-27
• [学会発表] 振動環境下で撮影された白色干渉像からの高精度形状計測 (2009)
  • 著者名/発表者名: 安達正明(他2名, 3番目)
  • 学会等名: 2009年精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 神戸大学(兵庫県)
  • 年月日: 2009-09-11
• [図書] 走査型干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定,光アライアンス (2011)
  • 著者名/発表者名: 安達正明
  • 総ページ数: 35-39
  • 出版者: 日本工業出版