SEMを用いた格子投影型三次元微小構造物形状計測法の開発

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21360121
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 知能機械学・機械システム
• 研究機関: 関西大学
• 研究代表者: 新井 泰彦 関西大学, システム理工学部, 教授 (80131415)
• 研究分担者: 多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840) ; 青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493) ; 高田 啓二 関西大学, システム理工学部, 教授 (50416939)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: SEM / MEMS / 縞解析

研究概要

本研究では, MEMS等の微小三次元構造物の非接触形状計測を目的とした新しい計測技術を,光学で培われた縞解析技術を基礎に光を電子線に置き換えることによって開発している.
本研究では,電子線と格子との位置関係に関する性質を用いて,光切断を電子線によって実現し,さらに,圧電素子を用いた高精度な位置決め機構をSEMチャンバー内に構築し,縞走査技術を用いることによる高分解能三次元形状計測法を確立している.

研究成果

• [雑誌論文] 2枚のスペックルパターンのみを用いた高分解能電子スペックル計測法 (2012)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 雑誌名: 光学 巻: Vol.41 ページ: 96-104
  • 査読あり
• [雑誌論文] Speckle interferometry by using virtual speckle pattern based on Carre algorithm (2011)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 雑誌名: Journal of metrology society of India 巻: Vol.26 ページ: 303-314
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro 3D Measurement Method Using SEM (2011)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 雑誌名: Journal of Metrology Society of India 巻: Vol.26 ページ: 69-78
  • 査読あり
• [雑誌論文] SEMを用いた微細構造物の三次元形状計測法の開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 雑誌名: 機械の研究 巻: Vol.62 ページ: 328-334
  • 査読あり
• [雑誌論文] Carreアルゴリズムを基礎とするバーチャルスペックルパターンを用いた動的面外変形計測 (2009)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 雑誌名: 光学 巻: Vol.38 ページ: 529-538
  • 査読あり
• [雑誌論文] デュアルカメラ技術を基礎としたスペックル干渉計測による電子デバイスの変形計測 (2009)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 雑誌名: 精密工学会誌 巻: Vol.75 ページ: 1323-1328
  • 査読あり
• [学会発表] High Resolution 3-D Shape Measurement Using Shadow Moire (2012)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 発表場所: セントペテルブルグ
  • 年月日: 2012-07-05
• [学会発表] Shadow moireを基礎としたSEMによる微小構造物の三次元形状計測法の開発-測定原理の微小構造物計測への適用- (2012)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 学会等名: 日本機械学会学術講演会
  • 発表場所: 関西大学
  • 年月日: 2012-03-16
• [学会発表] Shadow moireを基礎としたSEMによる微小構造物の三次元形状計測法の開発-マクロモデルを用いた測定原理の開発- (2012)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 学会等名: 日本機械学会学術講演会
  • 発表場所: 関西大学
  • 年月日: 2012-03-16
• [学会発表] SEMを用いた格子投影技術による微小構造物の三次元形状計測法の開発 (2012)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 学会等名: 日本機械学会学術講演会
  • 発表場所: 関西大学
  • 年月日: 2012-03-16
• [学会発表] High-resolution electric speckle pattern interferometry by using only two speckle patterns (2011)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 学会等名: SPIE Annual meeting
  • 発表場所: San Diego
  • 年月日: 2011-08-23
• [学会発表] High resolution speckle interferometr by replacing temporal information with spatial information (2011)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 学会等名: SPIE
  • 発表場所: Munich
  • 年月日: 2011-05-26
• [学会発表] SEMを用いた三次元構造物形状計測法 (2011)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 学会等名: 関西大学先端科学シンポジウム
  • 発表場所: 関西大学
  • 年月日: 2011-01-14
• [学会発表] SEMを用いた格子投影技術による三次元形状計測法の開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 学会等名: 精密工学会学術講演会
  • 発表場所: 名古屋大学
  • 年月日: 2010-09-28
• [学会発表] 3-D micro-structure measurement by high resolution fringe analysisfor shadow moire image by SEM (2010)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 学会等名: SPIE
  • 発表場所: サンディエゴ(アメリカ)
  • 年月日: 2010-08-03
• [学会発表] 3-D microstructure measurement method by using SEM (2010)
  • 著者名/発表者名: Yasuhiko Arai
  • 学会等名: ICEM14
  • 発表場所: ポアティエ(フランス)
  • 年月日: 2010-07-03
• [学会発表] SEMを用いた三次元微細構造物形状計測法 (2010)
  • 著者名/発表者名: 新井泰彦
  • 学会等名: 精密工学会学術講演会
  • 発表場所: 埼玉大学
  • 年月日: 2010-03-17