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2009 年度 実績報告書

磁場印加レーザアブレーションによる強磁性・強誘電性薄膜作製と評価

研究課題

研究課題/領域番号 21360150
研究機関大阪大学

研究代表者

奥山 雅則  大阪大学, 名誉教授 (60029569)

研究分担者 金島 岳  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 准教授 (30283732)
寒川 雅之  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 助教 (70403128)
RICINSCHI Dan  大阪大学, 大学院・基礎工学研究科, 特任研究員 (60403127)
キーワード磁性 / 誘電物性 / 電子・電気材料 / 結晶成長 / 物性実験
研究概要

キュリー点、ネール点が高く室温で強誘電性と強磁性を併せ持つマルチフェロイックの代表的物質としてBiFeO_3があり、デバイス応用の観点からも魅力ある電子材料である。さらに、申請者等によりレーザアブレーション法により薄膜作製が行われ166μC/cm^2という巨大な自発分極を持つこと(PZTやPbTiO_3の約1.5倍)が明らかにされた。しかし、磁性は反平行にスピンが並ぶため反強磁性でスピンのキャンティングにより小さな磁化しか持たない。そこで、磁場印加レーザアブレーション法により作製し、スピンを部分的に反平行以外に変え、強磁性の増大を図ることとした。
まず、レーザアブレーション装置内の基板ホルダーにSmCoの永久磁石を設置した場合の磁場分布をシミュレーションし、基板中心から1cm内で約0.1Tの磁束密度が得られた。そこで、SmCo磁石を設置し、BiFeO_3セラミクスターゲットを用いてPt/TiO_2/SiO_2/Si基板上に酸素雰囲気、450℃で薄膜を作製した。X線回折から(010)面間隔は酸素分圧を0.04Torrから0.12Torrへと上げると磁場しの場合少し減少するが、磁場有りの場合は0.4%程増大し、その強度も大きくなった。誘電分極のヒステリシスでは0.12Torrで磁場有りでは無しに比べて大きな分極が得られ、残留分極は28μC/cm^2から92μC/cm^2に増大した。磁化ヒスリシスでは磁場有りの場合、無しに比べ若干大きくなるとともに、3Tにおける磁化は~6.8emu/ccから12.7emu/ccまで増大し、成長時の磁場効果が得られた。
さらに、超伝導磁石を設計・試作し、40Aの電流で0.37Tの磁場を確認し、70Aで~0.6Tの磁場が期待できる。さらに、2T程度の据置型電磁石も準備でき今後、可変強磁場を用いた今後の研究進展に期待できる。

  • 研究成果

    (21件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 7件) 学会発表 (14件)

  • [雑誌論文] Study of partially-switched states of ferroelectrics in relation to the spatial inhomogeneity of their domain structure2010

    • 著者名/発表者名
      Ricinschi.D., Okuyama.M.
    • 雑誌名

      Journal of Electroceramics 24

      ページ: 33-38

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Ferroelectric and structural properties of stress-constrained and stress-relaxed polycrystalline BiFeO_3 thin flms2009

    • 著者名/発表者名
      S.Nakashima, D.Ricinschi, J.M.Park, T.Kanashima, H.Fujisawa, M.Shimizu, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Jouranal of Applied Physics 105

      ページ: 061617-1-6

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Micro-Raman study of BiFeO_3 thin films fabricated by chemical solution deposition using different Bi/Fe ratio precursors2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Nakamura, H.Fukumura, N.Hasuike, N.Harima, Y.Nakamura.K.Kisoda, S.Nakashima, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Acta Physica Polonica A 116

      ページ: 72-74

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improvement of ferroelectric properties of BiFeO3 thin films by postmetallization annealing and electric field application2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Nakamura, S.Nakashima, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 105

      ページ: 061616-1-4

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synergistic information encoding by combinatorial pulse operation of ferroelectrics2009

    • 著者名/発表者名
      D.Ricinschi.D.Nicastro, T.Kanashima, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 95

      ページ: 202905-1-3

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of analog ferroelectric states by small dc-bias in conjunction with fluctuating waveforms2009

    • 著者名/発表者名
      D.Ricinschi, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Journal of Physics D : Applied Physics 42

      ページ: 085410-1-9

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhancement of memory retention time of metal/ferroelectric/insulator/semiconductor structure by using fast annealing and nitrogen radicalirradiation2009

    • 著者名/発表者名
      Van Hai, S.Nakashima, M.OkuyamaLe
    • 雑誌名

      Journal of the Korean Physical Society 55

      ページ: 884-887

    • 査読あり
  • [学会発表] PLD法によるITO基板上薄膜の作製と評価2010

    • 著者名/発表者名
      朴正敏、後藤田文也、中嶋誠二、金島岳、奥山雅則
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      2010-03-17
  • [学会発表] イオンビームスパッタ法を用いたBiFeO3薄膜の作製とその評価2010

    • 著者名/発表者名
      辻田陽介、茅原智志、中嶋誠二、藤澤浩訓、朴正敏、金島岳、奥山雅則、清水勝
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      2010-03-17
  • [学会発表] X線回折によるBiFe_<1-x>Co_xO_3薄膜の結晶性評価2010

    • 著者名/発表者名
      野田実、斉藤啓介, NguyenTruong Tho, 山下馨、奥山雅則
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      2010-03-17
  • [学会発表] PZT強誘電体キャパシタにおける多値メモリの安定性2010

    • 著者名/発表者名
      Damian Nicastro, Dan Ricinschi, 金島岳、奥山雅則
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      平塚
    • 年月日
      2010-03-17
  • [学会発表] Leakage Current Reduction and Ferroelectric Property of Bil-xCoxO_3 Thin Films Prepared by Chemical solution Deposition Using Rapid Thermal Annealing2009

    • 著者名/発表者名
      N.Nguen, T.Kanashima M.Okuyama
    • 学会等名
      Fall Meeting of Material Research Society
    • 発表場所
      ボストン、米国
    • 年月日
      2009-12-01
  • [学会発表] (招待講演)ピコメータで制御されたBiFeO_3格子の巨大分極2009

    • 著者名/発表者名
      奥山雅則
    • 学会等名
      日本物理学会
    • 発表場所
      熊本
    • 年月日
      2009-09-25
  • [学会発表] (招待講演) BiFeO_3薄膜の作製と基礎特性の新展開2009

    • 著者名/発表者名
      奥山雅則
    • 学会等名
      日本セラミクス協会
    • 発表場所
      松山
    • 年月日
      2009-09-16
  • [学会発表] Zn-doped BiFeO_3薄膜のPLDによる作製とその評価2009

    • 著者名/発表者名
      朴正敏、中嶋誠二、後藤田文也、金島岳、奥山雅則
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-10
  • [学会発表] RTAによるBiFe_<1-x>Co_xO_3薄膜の作製とその評価2009

    • 著者名/発表者名
      NguyenTruong Tho, 金島岳、奥山雅則
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-10
  • [学会発表] BiFeO_3膜におけるリーク電流の面内マッピング2009

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二、藤澤浩訓、朴正敏、比企透雄、長副亮、金島岳、奥山雅則、清水勝
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-10
  • [学会発表] Multiple-value memory states in ferroelectrics by combinatorial application of asymmetrical pulses2009

    • 著者名/発表者名
      D.Ricinschi, M.Okuyama
    • 学会等名
      International Meeting of Ferroelectricity jointly with the International Symposium on Applications of Ferroelectrics IMF-ISAF
    • 発表場所
      Xi'an. China
    • 年月日
      2009-08-26
  • [学会発表] (Invited) Generation of multiple-value ferroelectric states for nonvolatile memory applications2009

    • 著者名/発表者名
      D.Ricinschi, M.Okuyama
    • 学会等名
      IEEE ROMSC 2009
    • 発表場所
      Iasi. Romania
    • 年月日
      2009-06-09
  • [学会発表] (Invited) Recent Study about BiFeO3 Thin Films as FeRAM Capacitor and Improved Ferroelectric Gate Structure2009

    • 著者名/発表者名
      M.Okuyama, S.Nakashima T.Kanashima
    • 学会等名
      Spring Meeting of Material Research Society
    • 発表場所
      San Francisco. USA
    • 年月日
      2009-04-15
  • [学会発表] (Invited) Cystalline and Ferroelectric Properties of BiFeO3 Thin Films Deformed by Stress fromSubstrateand Electric Field2009

    • 著者名/発表者名
      M.Okuyama, S.Nakashima
    • 学会等名
      Spring Meeting of Material Research Society
    • 発表場所
      San Francisco. USA
    • 年月日
      2009-04-15

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

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