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2011 年度 実績報告書

磁場印加レーザアブレーションによる強磁性・強誘電性薄膜作製と評価

研究課題

研究課題/領域番号 21360150
研究機関大阪大学

研究代表者

奥山 雅則  大阪大学, 名誉教授 (60029569)

研究分担者 金島 岳  大阪大学, 基礎工学研究科, 准教授 (30283732)
寒川 雅之  大阪大学, 基礎工学研究科, 助教 (70403128)
RICINSCHI Dan  東京工業大学, 総合理工学研究科, 特任准教授 (60403127)
キーワード強誘電性 / 強磁性 / 物性実験 / 電子・電気材料 / 結晶成長
研究概要

キュリー点、ネール点が高く室温で強誘電性と強磁性を併せ持つマルチフェロイックの代表的物質BiFeO_3(BFO)はデバイス応用の観点からも魅力ある電子材料である。さらに、申請者等によりレーザアブレーション法により薄膜作製が行われ166μC/cm^2という巨大な自発分極を持つこと(PZTやPbTiO_3の約1.5倍)が発見された。しかし、磁性は反平行スピンが並ぶため反強磁性でスピンのキャンティングにより小さな磁化しか持たない。そこで、磁場印加レーザアブレーション(PLD)法により作製し、スピンを部分的に反平行以外に変え、強磁性の増大を図った。
まず、BFOおよびCo置換BFOについて第1原理計算を行い、BFOで大きな電気分極とlowスピンCo置換により磁化が増大することから、上記薄膜作製で生じる欠陥などによっても磁気増大すると期待された。次いで実験的には、レーザアブレーション装置内のターゲットと基板ホルダーを取り囲む円筒型超伝導磁石を設置し、0-0.4Tの磁場を印加してPt/TiO_2/SiO_2/Si基板上にBFO薄膜を作製した。磁場の増加とともにPlumeの軌道がダイナミックに変わり、堆積速度も上がった。0.4Tでは磁場無に比べ、約5倍となり、30分蒸着で1.8μmの厚い膜が得られた。特に、磁場中作製されたBFO薄膜の断面構造は柱状の構造に形成されており、Crack freeで厚い膜ができた。結晶構造がランダムから(100)優先配向と低角度側にシフトし、膜厚方向に伸びていた。また、強誘電特性では室温で飽和した分極ヒステリシスが得られ、残留分極は63μC/cm^2であった。さらに、圧電特性についても磁場印加により52pm/Vの増大した圧電定数(d_<33>)が得られた。磁化ヒステリシスから残留磁化は磁場無で4.1emu/cm^3から磁場有で5.4emu/cm^3まで増加した。
この結果から今後、短時間での厚い膜の作製とともに柱状の構造によるCrack free厚い膜が作製できることからMEMSや圧電センサ用鉛フリ材料そして磁気電気transducerにも応用が期待される。

  • 研究成果

    (27件)

すべて 2012 2011

すべて 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 13件) 学会発表 (11件) 図書 (3件)

  • [雑誌論文] Mutiferroic Properties of Polycrystalline Sr-substituted BiFeO_3 Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      J.M.Park, F.Gotoda, S.Nakashima, T.Kanashima, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Ferroelectrics

      巻: 416 ページ: 119-124

    • DOI

      DOI:10.1080/00150193.2011.577720

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characterization of Epitaxial BiFeO_3 Thin Films Prepared by Ion Beam Sputtering2011

    • 著者名/発表者名
      S.Nakashima, Y.Tsujita, S.Kayahara, H.Fujisawa, J.M.Park, T.Kanashima, M.Okuyama, M.Shimizu
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: 11 ページ: S244-S246

    • DOI

      doi:10.1016/j.cap.2010.11.066

    • 査読あり
  • [雑誌論文] X-ray Diffraction Study of Electric-field-induced Strains in Polycrystalline BiFeO_3 Thin Films at Low Temperature Using Synchrotron Radiation2011

    • 著者名/発表者名
      S.Nakashima, O.Sakata, J.M.Park, H.Fujisawa, T.Yamada, H.Funakubo, T.Kanashima, M.Okuyama, M.Shimizu
    • 雑誌名

      Journal of the Korea Physical Society

      巻: 59 ページ: 2556-2559

    • DOI

      doi:10.1016/j.cap.2010.11.066

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Multiferroic Properties of Polycrystalline Zn-substituted BiFeO_3 Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      J.M.Park, F.Gotoda, S.Nakashima, T.Kanashima, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: 11 ページ: S270-S273

    • DOI

      doi:10.1016/j.cap.2011.03.032

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation and Characterization of BiFeO_3 Thin Films on ITO Substrate by Pulsed Laser Deposition2011

    • 著者名/発表者名
      J.M.Park, F.Gotoda, S.Nakashima, T.Kanashima, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Journal of the Korea Physical Society

      巻: 59 ページ: 2537-2541

    • DOI

      DOI:10.3938/jkps.59.2537

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation of BiFe_<0.9>Co_<0.1>O_3 Films by Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field2011

    • 著者名/発表者名
      J.M.Park, F.Gotoda, S.Nakashima, M.Sohgawa, T.Kanashima, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50 ページ: 09NB03-5

    • DOI

      DOI:10.1143/JJAP.50.09NB03

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation of BiFeO_3 Thin Films on SrRuO_3/SrTiO_3(001) Substrate by Dual Ion Beam Sputtering Process2011

    • 著者名/発表者名
      S.Nakashima, H.Fujisawa, H.Suminaga, J.M.Park, H.Nishioka, M.Kobune, T.Kanashima, M.Okuyama, M.Shimizu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50 ページ: 09NB01-4

    • DOI

      DOI:10.1143/JJAP.50.09NB01

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preparation and characterization of PZT films by RF-magnetron sputtering2011

    • 著者名/発表者名
      R.Frunza, P.Ricinschi, F.Gheorghiu, R.Apetrei, D.Luca, L.Mitoseriu, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Journal of Alloys and Compounds

      巻: 509 ページ: 6242-6246

    • DOI

      DOI:10.1016/j.jallcom.2011.03.021

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Multiagent strategic interaction based on a game theoretical approach to polarization reversal in ferroelectric capacitors2011

    • 著者名/発表者名
      D.Ricinschi, E.Tokumitsu
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Computational Intelligence and Intelligent Informatics

      巻: 15 ページ: 806-812

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Pulse-controlled generation and characterization of partially-switched multiple-value polarization states in PZT ceramics2011

    • 著者名/発表者名
      D.Ricinschi, D.Nicastro, C.Harnagea, M.Okuyama
    • 雑誌名

      Current Applied Physics

      巻: 12 ページ: 616-622

    • DOI

      DOI:doi:10.1016/j.cap.2011.09.001

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Studies on Electrical and Retention Enhancement Properties of Metal-Ferroelectric-Insulator-Semiconductor with Radical Irradiation Treatments2011

    • 著者名/発表者名
      Le Van Hai, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
    • 雑誌名

      INTECH

      巻: (図書にも有)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Barium Titanate-Based Materials-a Window of Application Opportunities2011

    • 著者名/発表者名
      Daniel Popovich, Masanori Okuyama, Jun Akedo
    • 雑誌名

      INTECH

      巻: (図書にも有)

    • 査読あり
  • [雑誌論文] BiFeO3 Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition with Approaches for Improvement of Ferroelectricity2011

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaka Nakamura, Seiji Nakashima, Masanori Okuyama
    • 雑誌名

      INTECH

      巻: (図書にも有)

    • 査読あり
  • [学会発表] 磁場中PLD法によるエピタキシャルBiFeO_3薄膜の作製と評価2012

    • 著者名/発表者名
      朴正敏、中嶋誠二、寒川雅之、金島岳、奥山雅則
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      東京,早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-18
  • [学会発表] RFプレーナマグネトロンスパッタ法を用いたエピタキシャルBiFeO_3薄膜の作製2012

    • 著者名/発表者名
      高田祐介、中川文、中嶋誠二、藤沢浩訓、小舟正文、朴正敏、金島岳、奥山雅則、清水勝
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      東京,早稲田大学
    • 年月日
      2012-03-18
  • [学会発表] First-principles calculations of magnetoelectric multiferroic properties of Co-doped BiFeO_32011

    • 著者名/発表者名
      D.Ricinschi, J.M.Park, M.Okuyama
    • 学会等名
      International Conference on Electroceramics ICE2011
    • 発表場所
      Sydney, Australia
    • 年月日
      2011-12-15
  • [学会発表] Miniature Ultrasonic and Tactile Sensors2011

    • 著者名/発表者名
      Masanori Okuyama
    • 学会等名
      ICAE 2011
    • 発表場所
      Jeju, Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-11-08
  • [学会発表] Preparation of BiFeO_3 Films by Using Magnetic Field Assisted PLD and Dual Ion Beam Sputtering Methods and Their Characterization2011

    • 著者名/発表者名
      J.M.Park, S.Nakashima, M.Sohgawa, T.Kanashima, M.Okuyama
    • 学会等名
      ICAE 2011
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 年月日
      2011-11-07
  • [学会発表] 磁場中PLD法によるBiFeO_3薄膜の微細構造と強誘電特性2011

    • 著者名/発表者名
      朴正敏、中嶋誠二、寒川雅之、金島岳、奥山雅則
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      山形,山形大学
    • 年月日
      2011-08-31
  • [学会発表] デュアルイオンビームスパタを用いるBiFeO_3薄膜の作製(II)2011

    • 著者名/発表者名
      辻田陽介、中嶋誠二、藤沢浩訓、西岡洋、小舟正文、朴正敏、金島岳、奥山雅則、清水勝
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      山形,山形大学
    • 年月日
      2011-08-31
  • [学会発表] Ferroelectric and Piezoelectric Properties of Polycrystalline BiFeO_3 Thin Films Prepared Pulsed Laser Deposition under Magnetic Field2011

    • 著者名/発表者名
      J.M.Park, S.Nakashima, T.Kanashima, M.Okuyama
    • 学会等名
      The 20th IEEE ISIF 2011
    • 発表場所
      Vancouver, Canada
    • 年月日
      2011-07-24
  • [学会発表] Structural and Ferroelectric Properties of BiFeO_3 Thin Films Prepared by Dual Ion Beam Sputtering Process2011

    • 著者名/発表者名
      S.Nakashima, H.Suminaga, Y.Tsujita, H.Fujisawa, M.Kobune, H.Nishioka, J.M.Park, T.Kanashima, M.Okuyama, M.Shimizu
    • 学会等名
      The 20th IEEE ISIF 2011
    • 発表場所
      Vancouver, Canada
    • 年月日
      2011-07-24
  • [学会発表] 磁場中PLD法によるBi_<1.1>(Fe_<0.9>Co_<0.1>)O_3薄膜の作製と評価2011

    • 著者名/発表者名
      後藤田文也、朴正敏、中嶋誠二、金島岳、奥山雅則
    • 学会等名
      FMA 2011
    • 発表場所
      京都,コープイン京都
    • 年月日
      2011-05-27
  • [学会発表] デュアルイオンビームスパタを用いるSrRuO_3/SrTiO_3基板上のBiFeO_3薄膜の作製2011

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二、住永寛幸、辻田陽介、朴正敏、金島 岳、奥山雅則、藤沢浩訓、小舟正文、清水勝
    • 学会等名
      FMA 2011
    • 発表場所
      京都,コープイン京都
    • 年月日
      2011-05-27
  • [図書] Ferroelectrics Material Aspects, chapter 72011

    • 著者名/発表者名
      Le Van Hai, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama
    • 総ページ数
      129-148
    • 出版者
      Studies on Electrical and Retention Enhancement Properties of Metal-Ferroelectric-Insulator-Semiconductor with Radical Irradiation Treatments(電子ジャーナルも有)
  • [図書] Ferroelectrics Material Aspects, chapter 142011

    • 著者名/発表者名
      Daniel Popovich, Masanori Okuyama, Jun Akedo
    • 総ページ数
      279-304
    • 出版者
      Barium Titanate-Based Materials-a Window of Application Opportunities(電子ジャーナルも有)
  • [図書] Ferroelectrics Material Aspects, chapter 222011

    • 著者名/発表者名
      Yoshitaka Nakamura, Seiji Nakashima, Masanori Okuyama
    • 総ページ数
      479-496
    • 出版者
      BiFeO3 Thin Films Prepared by Chemical Solution Deposition with Approaches for Improvement of Ferroelectricity(電子ジャーナルも有)

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公開日: 2013-06-26  

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