研究課題
基盤研究(B)
本研究課題では,アモルファスカーボン(DLC)ベースの新たなワイドギャップ半導体薄膜の創製を目的とした。N、Bの添加によりキャリア密度10^<14> cm^<-3>~10^<19> cm^<-3>のn型、p型DLC半導体が実現した。光学ギャップ(Eg)は0. 5eV程度となった。このn型半導体にSiを25%添加すると、Eg値が1. 7eVに拡張、キャリア密度、移動度が4. 8×10^<14> cm^<-3>、0. 30cm^<2> V^<-1> s^<-1>、Xeランプ(11. 8Wm^<-2>)照射下の光誘起電流が153μAcm^<-2>の半導体となった。光電変換効率が酸化チタンに近い半導体の実現に成功した。
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