| 研究概要 |
本研究は,垂直磁気転写用パターンドマスター媒体に,高垂直磁気異方性及び高飽和磁化を有するCoPt磁性膜を使用することにより,転写特性を飛躍的に向上させ,1テラビット/平方インチを超える記録密度の次世代ハードディスクへのサーボ信号記録を,高精度,高速,かつ低コストで実現することを目的としている.
本年度の研究実績は以下の通りである.
1.高い垂直磁気異方性を有するCoPt膜をスパッタ法で作製するための成膜条件について検討した.CoPt膜の高い垂直磁気異方性を引き出すために,Pt含有量,Ru下地,Pt下地,及び成膜する際のガス圧に関する検討を行い,所望の磁気特性を得るための条件を明確にした.さらなる転写特性の改善が期待できるCoPt/FeCo積層膜についても検討を開始した.また,本年度の補助金で購入した走査型電子顕微鏡を立ち上げ,作製したマスター媒体の観察を行った.
2.作製したマスター媒体とスレーブ媒体としての市販垂直ハードディスクを用いて転写実験を実施した.MFM(磁気力顕微鏡)により転写特性を評価し,本研究で提案しているマスター媒体が優れた転写特性を有することを確認した.また,マスター媒体の初期磁化が転写特性に影響を及ぼすことが予想されたため,この観点からの転写実験を実施し,初期磁化を適切に行うことにより,転写特性の向上が見込めることを確認した.
3.マイクロマグネティックシミュレーションによって,マスター磁性膜の磁化状態及び転写特性の計算を行った.CoPt膜の磁気異方性,c軸配向分散,交換結合,膜厚,ビットサイズ,及びビットパターン形状を変化させたシミュレーションを実施し,これらのパラメータとCoPt膜の磁気特性及び磁区構造との関連を明らかにした.さらに,CoPt膜の迷路磁区が転写に及ぼす影響について明らかにした.CoPt/FeCo積層膜に関するシミュレーションも開始した.
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