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2012 年度 実績報告書

集積化MEMS技術による局所高精細触覚イメージング

研究課題

研究課題/領域番号 21360169
研究機関香川大学

研究代表者

高尾 英邦  香川大学, 微細構造デバイス統合研究センター, 准教授 (40314091)

研究期間 (年度) 2009-04-01 – 2013-03-31
キーワード触覚センサ
研究概要

1.各種計測要素機能を統合化したシリコン触覚イメージセンサの評価と応用:
本研究では,「指紋構造」,「3軸力覚」,「分布型振動覚」,「熱伝導率測定」の各センシング機能を一つの触覚センサ上で融合したデバイスを実現している。この統合的な触覚機能を有する新しいセンサの性能と触覚センシング機能の動作について評価を進め,各種の応用にむけた計測レンジの抽出デバイス設計技術の確立を目指して研究を実施した。触覚センサ上にマイクロヒータと温度センサ,磁気センサ,力覚センサの集積化実現に成功し,各種金属と木材等の材料判別を行うだけの十分な熱伝導率差を検出できることを実証した。また,新しい画素構造の提案によって,微小な変位の差分から対象物の固さ計測を行えるセンサ構造を実現し,150ミクロンの領域でShore A固さ22~99までの固さ判別に成功した。
2.医療器具への実装技術の開発:
医学部における内視鏡手術グループとの将来的な連携を想定し,医療器具へのセンサ搭載に必要なデバイス実装技術を構築した。実際の適用に必要なセンサ性能の確認と,その基本特性の確認を行うことができた。今後,センサデバイスの小型化技術が進展すると期待できるうえに,実装技術分野のさらなる発展が見込まれることから,これまで適用されなかった新しい医療器具の内部でセンサを活用できる可能性が示された。

現在までの達成度 (区分)
理由

24年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

24年度が最終年度であるため、記入しない。

  • 研究成果

    (8件)

すべて 2013 2012

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (4件) (うち招待講演 1件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] A Post-CMOS Formation Process of High-Adhesiveness SU-8 Structures for Reliable Fabrication of Integrated MEMS sensors2013

    • 著者名/発表者名
      Yusaku Maeda; Kyohei Terao; Takaaki Suzuki; Fusao Shimokawa; Hidekuni Takao
    • 雑誌名

      Japanese Jouranal of Applied Physics

      巻: in print ページ: in print

    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Novel Integrated Tactile Image Sensor for Detection of Surface Friction and Hardness Using the Reference Plane Structure2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Maeda; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; H. Takao
    • 雑誌名

      Proc. IEEE Sensors2012 Conference

      巻: 1 ページ: 40-43

    • 査読あり
  • [雑誌論文] A Post-CMOS Process of High Adhesion SU-8 Structure to Apply to Sensor Device2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Maeda; K. Terao; T. Suzuki; F. Shimokawa; H. Takao
    • 雑誌名

      Proc. 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference

      巻: 1 ページ: 1B6-3

    • 査読あり
  • [学会発表] 材料判別能にむけた複合センサを集積するメッシュ状シリコン触覚イメージセンサ2013

    • 著者名/発表者名
      高木優佑; 前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    • 学会等名
      平成25年電気学会全国大会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      20130320-20130322
  • [学会発表] 基準面を用いて物体表面から摩擦力および硬さ情報を取得する機能集積型皮膚感覚センサアレイ2012

    • 著者名/発表者名
      前田祐作; 寺尾京平; 鈴木孝明; 下川房男; 高尾英邦
    • 学会等名
      第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      北九州国際会議場
    • 年月日
      20121022-20121024
  • [学会発表] 新機能創出にむけた集積化シリコンMEMS技術とその応用2012

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦; 大平文和
    • 学会等名
      第30回レーザセンシングシンポジウム
    • 発表場所
      オリビアン小豆島
    • 年月日
      20120906-20120907
    • 招待講演
  • [学会発表] Evaluation of Highly Sensitive C/V Converter with an Inverter for CMOS/MEMS Integration2012

    • 著者名/発表者名
      H. Takao, R. Kodama, H. Miyao, M. Ishida
    • 学会等名
      World Automation Congress 2012 (WAC2012)
    • 発表場所
      Puert Varralta
    • 年月日
      20120624-20120627
  • [図書] 電気工学ハンドブック(第七版)10編第3章8節「集積化システムの製作プロセス」2013

    • 著者名/発表者名
      高尾英邦
    • 総ページ数
      4
    • 出版者
      電気学会

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公開日: 2014-07-24  

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