| 研究課題/領域番号 |
21360307
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
佐々木 勝寛 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (00211938)
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| 研究分担者 |
黒田 光太郎 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 名誉教授 (30161798)
徳永 智春 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (90467332)
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| キーワード | 表面 / 界面 / 粒界 / 幾何光学 / 電子工学 |
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| 研究概要 |
申請者が独自に開発した透過電子顕微鏡内電場・磁場観察法の空間分解能向上を目的とした、測定方法改良を行った。
さまざまな試料表面での帯電を状態ガス雰囲気下で観察するための、ガス導入システムの開発を行った。中電圧電子顕微鏡と超高圧電子顕微鏡に共通なガス導入ユニットの開発を行い、酸素、窒素、アルゴン及び一酸化炭素の導入試験を行った。
また、試料表面を断面方向から観察しながら特定部位をガス雰囲気にさらすための試料作製方法及び試料ホルダーの開発を行い、鉄、銅、アルミニウムの表面酸化過程を断面方向で観察することに成功した。
試料内部での電場分布のの高分解能像を得るために、超高圧電子顕微鏡中で本手法が適用可能かどうかの検証を行った。二機種の超高圧電子顕微鏡、日立H-1250ST及び日本電子JEM-1000K RSにおいて、電子光学定数の測定を行い、本手法に適切なレンズ電流設定の設計を行った。その結果、電場に関する感度係数は、超高圧電子顕微鏡においても中電圧電子顕微鏡とほぼ同じオーダーであることがわかり、電子線透過能の向上による、試料内部での電場測定能力の向上に有利であることがわかった。
また、動電場分布の観察試験も行い、低周波ではあるが動電場の三次元的な分布測定の初期的な結果を得ることが出来た。
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