研究課題
基盤研究(B)
申請者らの開発した、新たな透過電子顕微鏡内、電場・磁場観察測定法である"影像歪法"を、ナノスケールの試料に適用できるように分解能の大幅な向上を試みた。新しいタイプの測定用絞りを開発すると供に、測定データをCCDを用いてデジタル取得し、自動解析するシステムを開発した。最高分解能74nm、解析時間20秒を得た。幾何光学的な理論構築を進め、感度および、倍率を集束レンズおよび対物レンズを制御することにより、自由に決定できるようになった。さらに、超高圧電子顕微鏡でも適用でき、検出感度が中電圧の透過電子顕微鏡と同程度であることを明らかにした。
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