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1SECM用ナノプローブの作製
光学ガラス上にLIGAにより白金細線パターンを真空蒸着し、絶縁被覆した構造を有するナノプローブを作製した。ポテンショスタットを用いて作製した電極特性を電気化学的に評価し、結果をLIGA加工にフィードバックさせた。さらに、電極部位をカーボンとするナノプローブの作製方法を検討し、電極代表長さサブマイクロメートルの微小リング電極および微小ダブルリング電極の開発に成功した。
2高面分解能SECNシステムの開発
1において開発したナノプローブをXYZ精密ステージに搭載し、試料表面近傍を走査、制御できるシステムを開発した。ナノプローブ電極および試料電極の電気化学情報をレーザー光学系による位置情報に組み合わせた高面分解能SECNシステムの仕様を決定した。
3下地金属の結晶組織および組成解析
硫酸水溶液中、多結晶鉄の溶解速度の面方位依存性を、モデル試料(焼鈍材)を用いて検討した。110<111<001面の順に腐食速度が大きいこと、鉄の溶解反応は対となる水素発生反応のカソード支配を受けることを見出した。
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