集積型微細電極によるマイクロプラズマモ-ルド法の開発

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21360362
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 平田 好則 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (00116089)
• 研究分担者: 西山 宏昭 北海道大学, 電子科学研究所, 准教授 (80403153)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: プラズマ処理 / レーザ加工 / マイクロ放電

研究概要

放電電流経路を狭窄させる窒化ケイ素(BN)ノズルと直流放電用の高速・高電圧電源を試作し,細径プラズマビームを発生させる方法を開発した.本試作装置によるプラズマビームはパワー密度10^9W/ m^2以上に達し,ステンレス鋼陽極に直径0. 1mmの溶融スポットを形成することができた.さらに,プラズマサイズを微細化するため, BNのプラズマエッチング特性の評価および非線形光リソグラフィの高度化を行った. NLDプラズマによって, Cuマスク越しにBNのエッチングを行い, 2. 5μm/ hの除去レートを得た.

研究成果

• [雑誌論文] マイクロプラズマ溶接に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: M, Park, 平田好則
  • 雑誌名: 第18回エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術シンポジウム論文誌 ページ: 353-358
  • 査読あり
• [雑誌論文] Large refractive index changes of a chemically amplified photoresists in femtosecond laser nonlinear lithography (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Mizoshiri, Y. Hirata, J. Nishii, H. Nishiyama
  • 雑誌名: Optics Express 巻: Vol.19 ページ: 7634-7679
  • 査読あり
• [雑誌論文] Off-axis diffractive focusing reflectors for refractive index sensing in microfluidic devices (2011)
  • 著者名/発表者名: H. Nishiyama, Y. Sagawa, N. Furukawa, S. Okamoto, Y. Hirata, J. Nishii
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: vol.50 ページ: 06GL02-1-3
  • 査読あり
• [雑誌論文] オフアクシス集光型回折格子を内装したマイクロ流体素子による屈折率センシング (2011)
  • 著者名/発表者名: 西山宏昭, 岡本晋太朗, 佐川雄一, 平田好則, 西井準治
  • 雑誌名: 第28回センサマイクロマシンとシステムシンポジウム論文集 巻: Vol.1 ページ: 671-674
  • 査読あり
• [雑誌論文] 非線形リソグラフィーによるガラスの立体的表面加工 (2010)
  • 著者名/発表者名: 西山宏昭, 平田好則
  • 雑誌名: NEW GLASS 巻: Vol.25 ページ: 11-15
• [学会発表] プラズマビームプロセスに関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 朴ミンゴン, 浦部竜真, 平田好則
  • 学会等名: 溶接学会H24年度春季全国大会
  • 発表場所: アジア太平洋トレードセンター(大阪市)
  • 年月日: 2012-04-10
• [学会発表] Fundamental research on micro discharge process (2011)
  • 著者名/発表者名: M. Park, Y. Hirata and K. Nomura
  • 学会等名: ECO-MATES 2011
  • 発表場所: ホテル阪急エクスポパーク(吹田市)
  • 年月日: 2011-11-28
• [学会発表] オフアクシス集光型回折格子を内装したマイクロ流体素子による屈折率センシング (2011)
  • 著者名/発表者名: 西山宏昭, 岡本晋太朗, 佐川雄一, 平田好則, 西井準治
  • 学会等名: 第28回センサマイクロマシンと応用システムシンポジゥム
  • 発表場所: タワーホール船堀(東京都)
  • 年月日: 2011-09-27
• [学会発表] 集光型回折格子内装マイクロ流体素子による屈折率センシング (2011)
  • 著者名/発表者名: 岡本晋太朗, 西山宏昭, 平田好則, 西井準治
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学(山形市)
  • 年月日: 2011-09-01
• [学会発表] フェムト秒レーザ直接重合による露光部での導波モード生成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 西山宏昭, 溝尻瑞枝, 平田好則, 西井準治
  • 学会等名: 第72回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 山形大学(山形市)
  • 年月日: 2011-08-31
• [学会発表] マイクロアークプロセスに関する研究(第2報) (2011)
  • 著者名/発表者名: 朴ミンゴン, 野村和史, 平田好則
  • 学会等名: 溶接学会H23年度春季全国大会
  • 発表場所: 学術総合センター(東京都)
  • 年月日: 2011-04-22
• [学会発表] Research on Discharge of Sub-millimeter size Process (2010)
  • 著者名/発表者名: M. Park, Y. Hirata, K. Nomura
  • 学会等名: Visua1-JW2010
  • 発表場所: ホテル阪急エクスポパーク(吹田市)
  • 年月日: 2010-11-11
• [学会発表] マイクロアークプロセスに関する研究 (2010)
  • 著者名/発表者名: 朴ミンゴン, 野村和史, 平田好則
  • 学会等名: 溶接学会H22年度秋季全国大会
  • 発表場所: 日本大学工学部(郡山市)
  • 年月日: 2010-09-09