高分散性ナノ粒子のプラズマ気相発生・輸送制御によるナノ空隙構造膜の生成

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21360380
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 化工物性・移動操作・単位操作
• 研究機関: 広島大学
• 研究代表者: 島田 学 広島大学, 大学院・工学研究院, 教授 (70178953)
• 連携研究者: 礒本 良則 広島大学, 大学院・工学研究院, 准教授 (40127626)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: ナノ材料 / 薄膜・微粒子形成操作 / 微粒子移動操作 / 非凝集粒子 / 堆積

研究概要

ナノスケールレベルの空隙を有する薄膜は、有用な機能の発現が期待できる。本研究では、空隙薄膜を生成するための新規気相プロセスの開発を目指した。粒子を気相で合成し、基板上に輸送して堆積する実験的検討を行った。凝集していないナノ粒子を用いることで、均一なナノ空隙構造をもつ膜を生成できた。粒子のサイズ、凝集状態、堆積条件、堆積後の熱処理の影響も明らかになり、空隙薄膜の生成を制御する指針が得られた

研究成果

• [雑誌論文] Synthesis of Gallium Nitride Nanoparticles by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method (2010)
  • 著者名/発表者名: Manabu Shimada, Wei-Ning Wang and Kikuo Okuyama
  • 雑誌名: Chem. Vap. Deposition 巻: 16巻 ページ: 151-156
  • 査読あり
• [雑誌論文] 高周波非平衡プラズマ中の微粒子の計測と制御 (2009)
  • 著者名/発表者名: 島田学
  • 雑誌名: J. Vacuum Soc. Japan 巻: 52巻 ページ: 484-490
  • 査読あり
• [学会発表] 気固原料CVDによる複合膜合成条件の検討 (2012)
  • 著者名/発表者名: 唐崎健太郎, 山本洋彰, 島田学
  • 学会等名: 化学工学会第77年会
  • 発表場所: 東京都
  • 年月日: 2012-03-16
• [学会発表] ナノ粒子による気相薄膜形成に及ぼす堆積条件の影響 (2012)
  • 著者名/発表者名: 萬谷勇樹, 石原悠, 島田学
  • 学会等名: 第14回化学工学会学生発表会
  • 発表場所: 宇部市
  • 年月日: 2012-03-03
• [学会発表] 基板上付着微粒子による水分介在汚染現象 (2011)
  • 著者名/発表者名: 棚橋克臣, 中西雅教, 島田学, 長池宏史, 守屋剛
  • 学会等名: 化学工学会第43回秋季大会
  • 発表場所: 名古屋市
  • 年月日: 2011-09-16
• [学会発表] 非凝集ナノサイズ粒子の気相堆積による薄膜構造の形成 (2011)
  • 著者名/発表者名: 石原悠, 飯田大樹, 島田学
  • 学会等名: 化学工学会第43回秋季大会
  • 発表場所: 名古屋市
  • 年月日: 2011-09-16
• [学会発表] 基板表面の水分析出汚染現象に及ぼす沈着微粒子の影響 (2011)
  • 著者名/発表者名: 棚橋克臣, 中西雅教, 島田学, 長池宏史, 守屋剛
  • 学会等名: 第28回エアロゾル科学・技術研究討論会
  • 発表場所: 堺市
  • 年月日: 2011-08-29
• [学会発表] Defect Grown from aFine Particle as Its Nucleus on a Si Wafer (2010)
  • 著者名/発表者名: Hiroshi Nagaike, Tsuyoshi Moriya, Manabu Shimada, Keigo Nakashima and Katsuomi Tanahashi
  • 学会等名: International Symposium on Contamination Control 2010
  • 発表場所: 東京都
  • 年月日: 2010-10-07
• [学会発表] 粒子原料導入プラズマCVD法によるナノ複合材料の合成 (2010)
  • 著者名/発表者名: 山本洋彰, 島田学
  • 学会等名: 化学工学会第42回秋季大会
  • 発表場所: 京都市
  • 年月日: 2010-09-08
• [学会発表] ナノクラスターの気相堆積で形成される薄膜構造の評価 (2010)
  • 著者名/発表者名: 飯田大樹, 島田学
  • 学会等名: 化学工学会第42回秋季大会
  • 発表場所: 京都市
  • 年月日: 2010-09-08
• [学会発表] Plasma Synthesis of Composite Films Using Gaseousand Aerosol Precursors (2010)
  • 著者名/発表者名: Manabu Shimada, Akiko Tao, HiroakiYamamoto and Wei-Ning Wang
  • 学会等名: 2010 International Aerosol Conference(IAC2010)
  • 発表場所: Helsinki, Finland
  • 年月日: 2010-08-31
• [学会発表] ナノクラスターの連続堆積による薄膜の形成過程 (2010)
  • 著者名/発表者名: 飯田大樹, 島田学
  • 学会等名: 第27回エアロゾル科学・技術研究討論会
  • 発表場所: 名古屋市
  • 年月日: 2010-08-05
• [学会発表] ナノサイズクラスターの堆積による表面形態の形成過程 (2009)
  • 著者名/発表者名: 村上詩織, 飯田大樹, 島田学
  • 学会等名: 化学工学会第41回秋季大会
  • 発表場所: 東広島市
  • 年月日: 2009-09-17
• [学会発表] RF非平衡プラズマ場を用いた高分散ナノ粒子合成プロセス (2009)
  • 著者名/発表者名: 小坂知徳, 島田学
  • 学会等名: 化学工学会第41回秋季大会
  • 発表場所: 東広島市
  • 年月日: 2009-09-17
• [学会発表] プラズマ中エアロゾル粒子を用いた複合薄膜の合成 (2009)
  • 著者名/発表者名: 田尾亜紀子, 汪偉寧, 島田学
  • 学会等名: 第26回エアロゾル科学・技術研究討論会
  • 発表場所: 岡山市
  • 年月日: 2009-08-20