| 研究課題/領域番号 |
21510126
|
|---|
| 研究機関 | 広島大学 |
|---|
研究代表者 |
村上 裕二 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任准教授 (70272995)
|
|---|
| 研究分担者 |
石川 智弘 広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任准教授 (20457295)
|
|---|
| キーワード | スマートセンサ情報システム / リモートセンシング / マイクロ・ナノデバイス / 先端機能デバイス / 低消費電力 |
|---|
| 研究概要 |
生化学領域で標準的に多用されている1.5mLエッペンドルフ型サンプルチューブ内でのフタを閉めた温度計測や、μTAS領域での標準チップ製作法である、PDMSとガラスを組み合わせた流路チップ内に埋め込み可能な、ワイヤレスの小型温度計開発を目的としている。このため先行プロジェクトで開発された集積回路を活用して開発を進めている。本年度はまず当該回路の再設計を進めた。既存の回路は高い電源電圧安定性を前提とした高精度温度計を目指していたが、無線給電や小型電池を利用する場合、電源電圧は数十%程度の変動が予想される。そこで不安定な電源電圧下用の温度計を再設計した。これを、10ビット逐次変換型AD変換器、シーケンサー回路、送信回路と組み合わせた小型温度計CMOS回路TM1をRohm180nmプロセスで2.5mm角チップに設計した。VDECを通じて2010年4月にテープアウトを行う。
また、ポストプロセスとして特に厚膜フォトレジストの直接描画によるオンチップアンテナの鋳型迅速試作法確立に向け、各プロセスの最適化を行った。詳細な試験の結果、当該フォトレジストには簡易試験で一見十分と思われる50J/cm^2の露光量が実は不十分であり、120J/cm^2以上の露光でなければわずかな収縮が起こることを見いだした。また20-50J/cm^2領域を活用すれば、通常は活用困難な透明基板でしか実施されていない厚膜レジストのグレイスケール露光による疑似3次元構造形成が、透明基板でも実施可能になることを示した。これらの結果は、「レーザ直描装置を用いたSU-8露光条件の最適化」と題して2010年3月19日に電気学会全国大会@明治大学にて指導学生が口頭発表した。
|
