2011 年度研究成果報告書

生化学試験用投げ込み型1チップ温度計開発とその応用

研究課題

研究課題/領域番号	21510126
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	マイクロ・ナノデバイス
研究機関	広島大学
研究代表者	村上裕二広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任准教授 (70272995)
研究分担者	石川智弘広島大学, ナノデバイス・バイオ融合科学研究所, 特任准教授 (20457295)
研究期間 (年度)	2009 – 2011
キーワード	マイクロセンサー
研究概要	生化学試験向けに市販されている試験管や、近年開発が進んでいるはマイクロバイオデバイスで、制約なく容易に温度計測できるように温度計機能に限定した簡素な小型LSIチップ開発を行うための技術構築を試みている。温度計、10ビットA/ D変換器、送信機、メモリなどを含む1チップシステム化LSIを180nmプロセスにて2. 5x2. 5mmサイズで設計し、製作した。また、ポストプロセスでのアンテナ製作や微小生化学リアクタ製作技術としてマスクレス露光機による直接描画法を確立した。