| 研究課題/領域番号 |
21510131
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 兵庫県立工業技術センター |
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研究代表者 |
才木 常正 兵庫県立工業技術センター, 環境・バイオ部, 主任研究員 (80470227)
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| 連携研究者 |
内海 裕一 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所, 教授 (80326298)
倉本 圭 兵庫県立大学, 工学部大学院研究科, 准教授 (70524627)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| キーワード | 弾性表面波 / 流体 / アクチュエーター / MEMS / 数値計算 / μTAS |
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| 研究概要 |
近年、試薬が少なく処理時間が短い等の利点より集積化化学システム(μTAS)が注目され、構造が簡単な弾性表面波(SAW)アクチュエーターの研究がされている。そこで、我々は連続流体用のSAWアクチュエーターを最適化するため、櫛歯電極(IDT)形状と流体駆動の関係を実験により調べた。その結果、液体の粘度によって最適なIDTピッチが異なることが明らかになった。次に、高効率SAWアクチュエーターの設計支援のため、粒子法を用いた数値解析によりSAWによる連続流体駆動の物理メカニズムを調べた。この結果、SAWによる流体駆動は流体の粘性および波打った基板面と流体の相互作用に影響され、SAWの持つエネルギーによって生じていることが証明された。最後に、これら実験と解析結果を基にして、高効率の2液混合化学反応チップを設計し製作した。そして、このチップを用いることにより、局部的で迅速な化学反応が行われていることが確認できた。
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