研究課題
基盤研究(C)
真空紫外シュミットカメラの要となる非球面MgF_2補正板を高精度ダイレクト研削により試作し、干渉計を用いて製作精度を検証した。試作した非球面補正板の面精度は観測波長135.6nmに対し、約λ/3(PV)という値を達成できた。この面にさらに磁性流体研磨による仕上げ加工を加えれば、λ/4以下の高い面精度の達成が期待できる。また、面粗度はおよそλ/100が達成されており、こちらは十分に実用レベルであると考えられる。
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JAXA-RR-11-004
ページ: 1-11