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2011 年度 研究成果報告書

2次元検出器による共焦点電子顕微鏡法の実現

研究課題

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研究課題/領域番号 21560036
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関独立行政法人物質・材料研究機構

研究代表者

三石 和貴  独立行政法人物質・材料研究機構, 表界面構造・物性ユニット, 主幹研究員 (40354328)

研究期間 (年度) 2009 – 2011
キーワード電子顕微鏡
研究概要

電子顕微鏡では、試料の深さ方向の情報は平均化されており、得ることが難しい。共焦点電子顕微鏡法はこれらの情報を簡便に高分解能で得ることができる方法として期待されているが、現状の方法では装置に大きな改造を施す必要があり、発展と普及に大きな障害となっている。本研究では、顕微鏡に通常備えられている2次元CCDカメラを利用することで共焦点電子顕微鏡法を実現するとともに、理論計算による解釈と併せて高分解能化を目指し研究を行った。

  • 研究成果

    (5件)

すべて 2012 2010

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] Imaging properties of bright-field and annular-dark-field scanning confocal microscopy2012

    • 著者名/発表者名
      K. Mitsuishi, et. al., 他4名
    • 雑誌名

      Ultramicroscopy

      巻: 112 ページ: 53-60

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Imaging properties of bright-field and annular-dark-field scanning confocal microscopy II. point spread function analysis2010

    • 著者名/発表者名
      K. Mitsuishi, et al., 他4名
    • 雑誌名

      Ultramicroscopy

      巻: 111 ページ: 20-26

    • 査読あり
  • [学会発表] 2次元検出器を用いた共焦点電子顕微鏡法2010

    • 著者名/発表者名
      三石和貴, 他4名
    • 学会等名
      日本物理学会2010年秋季大会
    • 発表場所
      大阪府立大学
    • 年月日
      2010-09-23
  • [学会発表] STEM像の計算手法の基礎/STEM像の計算手法の基礎2010

    • 著者名/発表者名
      三石和貴
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会電顕技術開発若手研究部会研究会
    • 発表場所
      東京大学山上会館
    • 年月日
      2010-08-23
  • [学会発表] 共焦点暗視野電子顕微鏡法の結像特性2010

    • 著者名/発表者名
      三石和貴, 他4名
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第66回学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2010-05-23

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公開日: 2013-07-31  

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