研究課題
基盤研究(C)
金属薄板に複数の圧痕を成形し裏面を化学的に除去して多数列の微細穴を加工する手法を提案し板厚0. 1mmの銅合金箔に対して加工精度を検証した。圧痕成形が干渉しない最小の隣接距離が存在し、それは丸穴よりスリット穴の方が大きくなった。その隣接距離以上であれば破断やバリ等の欠陥を生じることなく数十μm寸法の丸穴およびスリット穴を加工できた。また、圧痕成形よりエッチング量の誤差の方が穴の寸法精度への影響が大きいことが判明した。
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Steel Research International
巻: Vol.82 ページ: 559-563