| 研究概要 |
金属などの導電体の加工法に比べ,無機絶縁体への微細加工法は進展が遅れている.電解放電加工では電解液中で放電を起こすことで絶縁体に微細形状を創成することができる.
本研究では,平成24年3月までにガラスやセラミックスなどの絶縁性材料を軸対称形状に加工するために,小型部品の加工に適した旋盤型電解放電加工機を試作する.これにより通常の穴加工で問題となるクラックなどの表面性状低下原因を解明するとともに,加工性能を改善することを目的とする.
本年度は下記の2点について実施した.
(1) 電極送り方法の検討
軸対称物体の形状加工のためには,切り込み方向の送りに加えて,軸方向にも送る必要がある.最終的に細軸を得るためには,押しつけ力が大きすぎてはいけない.そのため,微小力が測定できるセンサを工具電極保持に用いた定圧送りと,剛性の高い保持具を用いた定速送りを比較した.定圧送りではセンサの剛性が低いため,真直度が高い形状が得られなかった.一方,剛性の高い保持具を用いた場合には,真直度が高い形状が得られるが,加工速度が小さかった.
(2) 圧電セラミックスの形状加工
円柱状の圧電セラミックスを加工して,超音波モータよりも形状が簡単な加速度センサを試作した.突っ切り加工により圧電体にくびれ部を設け,そこに電極を塗布して加速度センサとした.工具電極の送りは,定速送り制御とした.電極には導電性接着剤を用いた.分極処理をすることで,市販の加速度センサと同様の動作をすることを確認した.
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