研究課題
基盤研究(C)
交流電界下のスラリーの動作を理解するために、開発した観察装置を用いて、スラリーの挙動を観察した。その結果、研磨スラリーが交流電界によって研磨領域内に導かれることを確認し、研磨領域のスラリー分布が12%向上することを明らかにした。研磨レートは交流電界が適用された時、無電界時と比較して、22%増加した結果を得た。
すべて 2012 2011 2010 2009
すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (8件)
Journal of Magnetism and Magnetic Materials
巻: 323 ページ: 1394-1397
日本AEM学会
巻: Vol.18-418