| 研究概要 |
真空対応型の高精度非接触案内機構としては,これまで,静圧空気軸受と差動排気システムを組み合わせた方法が提案され,研究されてきた.しかしこの方法は,軸受面にシール部を設ける必要があるうえ,数個の真空ポンプを装備しなければならないという煩雑さがあった.本研究で提案するイオン液体を用いた非接触案内では,差動排気システムを必要としないため,機構設計がきわめて単純となるうえ,シール部を必要としないことから装置の小型化も可能である.そこで本研究では,イオン液体を用いた動圧型流体潤滑回転スピンドルおよび静圧型直動案内機構の開発を行い,その有効性を確認した.
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