GaAs単結晶成長固液界面制御のための熱・物質移動現象の解明

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21560198
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 熱工学
• 研究機関: 苫小牧工業高等専門学校
• 研究代表者: 菊田 和重 苫小牧工業高等専門学校, 教授 (90214741)
• 研究分担者: 近久 武美 北海道大学, 大学院・工学研究院, 教授 (00155300)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 対流

研究概要

GaAs単結晶成長における熱・物質移動現象の解明を目的として,融液の複雑な流動現象を明らかにするために,可視化実験装置を用いて成長装置を模擬したるつぼ内の融液の流動観察を行った.また,種々の結晶径,結晶長における成長装置内の熱流動数値計算を行い,単結晶成長実験結果と比較・検証することで実現象の解明を試みた.本研究により融液の流動特性をある程度明らかにできたほか,異なった結晶径,結晶長における装置内の熱・流動特性も明らかにすることができた.

研究成果

• [雑誌論文] 化合物半導体GaAs単結晶成長の歩留まり向上に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 大町悠樹,菊田和重
  • 雑誌名: 日本機械学会北海道学生会,第41回学生員卒業研究発表講演会 ページ: 197-198
• [雑誌論文] Numerical simulation of flow and heat transfer in LEC growth of GaAs (2011)
  • 著者名/発表者名: Kazushige Kikuta, Jun Takakuwa
  • 雑誌名: MEMOIRS OF THE TOMAKOMAI NATIONAL COLLEGE OF TECHNOLOGY 巻: No.46 ページ: 1-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] 化合物半導体GaAs単結晶製造装置における熱・物質移動シミュレーション (2011)
  • 著者名/発表者名: 堂賢人,菊田和重
  • 雑誌名: 日本機械学会北海道学生会,第40回学生員卒業研究発表講演会 ページ: 207-208
• [雑誌論文] GaAs単結晶成長に及ぼす融液流動および温度分布の影響 (2010)
  • 著者名/発表者名: 木村恵敬,田部豊,近久武美
  • 雑誌名: 日本機械学会第49回北海道支部講演会講演概要集 ページ: 23-24
• [雑誌論文] GaAs単結晶製造装置内の熱流動可視化実験と解析 (2010)
  • 著者名/発表者名: 門脇主将,田部豊,近久武美
  • 雑誌名: 日本機械学会北海道学生会,第39回学生員卒業研究発表講演会 ページ: 199-200
• [雑誌論文] 化合物半導体製造装置における結晶欠陥抑制のための熱・物質移動に関する研究 (2010)
  • 著者名/発表者名: 高桑潤,菊田和重
  • 雑誌名: 日本機械学会北海道学生会,第39回学生員卒業研究発表講演会 ページ: 197-198
• [学会発表] 化合物半導体GaAs単結晶成長の歩留まり向上に関する研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 大町悠樹,菊田和重
  • 学会等名: 日本機械学会北海道学生会,第41回学生員卒業研究発表講演会
  • 年月日: 20120000
• [学会発表] 化合物半導体GaAs単結晶製造装置における熱・物質移動シミュレーション (2011)
  • 著者名/発表者名: 堂賢人,菊田和重
  • 学会等名: 日本機械学会北海道学生会,第40回学生員卒業研究発表講演会
  • 年月日: 20110000
• [学会発表] GaAs単結晶成長に及ぼす融液流動および温度分布の影響 (2010)
  • 著者名/発表者名: 木村恵敬,田部豊,近久武美
  • 学会等名: 日本機械学会第49回北海道支部講演会
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] GaAs単結晶製造装置内の熱流動可視化実験と解析 (2010)
  • 著者名/発表者名: 門脇主将,田部豊,近久武美
  • 学会等名: 日本機械学会北海道学生会,第39回学生員卒業研究発表講演会
  • 年月日: 20100000
• [学会発表] 化合物半導体製造装置における結晶欠陥抑制のための熱・物質移動に関する研究 (2010)
  • 著者名/発表者名: 高桑潤,菊田和重
  • 学会等名: 日本機械学会北海道学生会,第39回学生員卒業研究発表講演会
  • 年月日: 20100000