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2009 年度 実績報告書

広範な抵抗率可変機能を持つ新しい薄膜ナノ材料の開発と最先端集積回路への応用

研究課題

研究課題/領域番号 21560320
研究機関北見工業大学

研究代表者

武山 眞弓  北見工業大学, 工学部, 准教授 (80236512)

研究分担者 野矢 厚  北見工業大学, 工学部, 教授 (60133807)
町田 英明  東京大学, 工学研究科, 研究員 (30535670)
キーワードナノ材料 / ホウ化物 / 抵抗率 / ナノコンポジット / Zr-B
研究概要

本研究課題では、Zr-B合金の中で、極めて特徴的なインターカレーション構造を持つZrB_2薄膜を基本として、Zr-B薄膜の組成を変化させて、抵抗率可変機能を有するのかどうかを検討した。その結果、まず基本としたZrB_2膜をZr-B複合ターゲットを用いて作製したが、同じ組成の膜であっても基板を変化させることで、得られた膜の抵抗率を15~数千μΩcmまで変化させられることを見い出した。さらに、Zr-B膜の組成を変化させた場合にも、基板の導電率に従って、抵抗率可変機能が保持されることがわかった。代表者らは、このZr-B特有のキャラクタリゼーションの応用として、Si-ULSIにおけるCu配線のメタルキャップ膜への適用を考え、キャッピング膜としての特性を評価した。その結果、興味深い結果が得られ、Zr-B膜は成膜後のエッチング等のプロセスを行うことなく、Cu配線上のメタルキャップ膜となり得る可能性を秘めた有望な材料であり、かつ酸化耐性等もあり、Cuの酸化を抑制できるバリヤとしての機能も有することが明らかとなった。以上のことから、当初の目的は十分に達成された。

  • 研究成果

    (2件)

すべて 2010 2009

すべて 学会発表 (2件)

  • [学会発表] 低温作製されたZrBx薄膜のCu配線への適用2010

    • 著者名/発表者名
      武山, 佐藤, 野矢
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学(神奈川)
    • 年月日
      2010-03-20
  • [学会発表] ZrBx薄膜の特性評価とCu配線への応用2009

    • 著者名/発表者名
      武山, 佐藤, 早坂, 青柳, 野矢
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告(電子部品・材料研究会)
    • 発表場所
      弘前大学(青森)
    • 年月日
      2009-08-11

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公開日: 2011-06-16   更新日: 2014-04-15  

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