| 研究課題/領域番号 |
21560348
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| 研究機関 | 宇都宮大学 |
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研究代表者 |
石井 清 宇都宮大学, 工学研究科, 教授 (30134258)
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| 研究分担者 |
佐久間 洋志 宇都宮大学, 工学研究科, 助教 (40375522)
齋藤 和史 宇都宮大学, 工学研究科, 助教 (70251080)
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| キーワード | 磁気記録媒体 / 垂直磁気記録媒体 / スパッタ膜 / ガスフロースパッタ法 / FePt |
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| 研究概要 |
本研究では、本学で考案されたガスフロースパッタ法(GFS法)と呼ぶCVD領域(100Pa)の高圧力スパッタ法を用いることにより、「ナノ粒子薄膜の成長」を可能にし、また、L1_0相のFe-Pt合金においてなるべく低温においてL1_0構造に規則化を起こさせることにより、次世代磁気記録媒体として考えられているナノパーティクル媒体薄膜に適用できるL1_0相のFe-Ptナノ粒子構造薄膜を作製することを目指している。具体的には、要求を満たす構造の薄膜が成長する条件を確立すること、また薄膜の構造解析と磁気特性の関連性を明らかにする実験研究を推進する。22年度においては、基板加熱を行う場合、成長温度を高めるとL1_0への規則化が進むが、膜構造は特異な変化を示し、先ず微細化が起き、さらに高温にすると結晶粒子の成長が進み粒子が大きくなることを明確にした。その結果、成長温度が300℃程度において、10nm程度の微粒子構造が現れ、しかもL1_0への規則化も高く(規則度が0.6以上)保磁力も7kOe以上の十分大きな値を示すことが明らかになった。一方、100℃以下の低温において成膜すると、僅かであるがL1_0に規則化が見られるが、微結晶が凝集した2次組織を形成し、さらにクラック状のボイドが形成され、さらに、それらの薄膜を熱処理する過程では、結晶粒子の合体成長が進み、それに伴って不均一な構造となるため目的とする構造は形成できない。今回確立された成膜時の基板加熱により薄膜の微細化が進む現象は、この手法に独特なものであり、ナノパーティクル媒体構造の構築に極めて有用なものであることを示すことができた。
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