研究課題
基盤研究(C)
走査レーザSQUID顕微鏡法(L-SQ法)画像およびレーザテラヘルツ波顕微鏡法(LTEM法)画像を生成するシミュレータを高速化し,これらを用いた超LSI故障個所診断支援法の開発を行った. L-SQ像シミュレータは100倍以上, LTEM像シミュレータは約10倍の高速化を達成した.シミュレータを利用したL-SQ法による故障診断支援手法では故障位置を第1位の順位で指摘し, LTEM法による故障診断支援手法では回路全体の8%の領域まで故障を絞り込むことができた.
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