高速・高精度な超LSI故障個所解析装置用診断支援手法の開発

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21560353
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 三浦 克介 大阪大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (30263221)
• 研究分担者: 御堂 義博 大阪大学, 情報科学研究科, 助教 (00448094)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 大規模集積回路 / 故障診断 / 故障解析 / シミュレーション / 走査レーザSQUID顕微鏡法 / L-SQ法 / レーザテラヘルツ波顕微鏡法 / LTEM法

研究概要

走査レーザSQUID顕微鏡法(L-SQ法)画像およびレーザテラヘルツ波顕微鏡法(LTEM法)画像を生成するシミュレータを高速化し,これらを用いた超LSI故障個所診断支援法の開発を行った. L-SQ像シミュレータは100倍以上, LTEM像シミュレータは約10倍の高速化を達成した.シミュレータを利用したL-SQ法による故障診断支援手法では故障位置を第1位の順位で指摘し, LTEM法による故障診断支援手法では回路全体の8%の領域まで故障を絞り込むことができた.

研究成果

• [学会発表] 走査レーザSQUID顕微鏡およびLTEM複合故障箇所解析装置の為の故障データベースと故障絞り込み支援ソフトウェアの開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 三浦克介, 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
  • 学会等名: 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録
  • 年月日: 20111109-11
• [学会発表] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション(II) (2011)
  • 著者名/発表者名: 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
  • 学会等名: 第31回LSIテスティングシンポジウム会議録
  • 年月日: 20111109-11
• [学会発表] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法 (2010)
  • 著者名/発表者名: 三浦克介, 二川清, 中前幸治
  • 学会等名: 第30回LSIテスティングシンポジウム会議録
  • 年月日: 20101110-12
• [学会発表] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション (2010)
  • 著者名/発表者名: 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
  • 学会等名: 第30回LSIテスティングシンポジウム会議録
  • 年月日: 20101110-12
• [学会発表] LTEMによるLSI故障解析のためのTHz波シミュレーション(II) (2010)
  • 著者名/発表者名: 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 斗内政吉, 二川清, 中前幸治
  • 学会等名: 第57回応用物理学会関係連合講演会
  • 年月日: 20100317-20
• [学会発表] 走査レーザSQUID顕微鏡によるシミュレーションを活用したVLSI故障絞り込み法 (2010)
  • 著者名/発表者名: 三浦克介, 二川清, 中前幸治
  • 学会等名: 電子情報通信学会総合大会
  • 年月日: 20100316-19
• [学会発表] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法の検討 (2009)
  • 著者名/発表者名: 三浦克介, 中前幸治, 二川清
  • 学会等名: 第29回LSIテスティングシンポジウム
  • 年月日: 20091111-13