InAsナノワイヤを用いた超高速アナログ/デジタル集積回路

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21560362
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 上智大学
• 研究代表者: 和保 孝夫 上智大学, 理工学部, 教授 (90317511)
• 連携研究者: 下村 和彦 上智大学, 理工学部, 教授 (90222041)
• 研究協力者: 下村 和彦 上智大学, 理工学部, 教授 (90222041)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 先端機能デバイス / 集積回路 / 半導体超微細化 / ナノワイヤ / 化合物半導体

研究概要

電界アシスト自己整合プロセスにより、予め回路が搭載された基板上にInAsナノワイヤを位置と方位を制御しながら堆積させることに成功した。これを用いて、InAsナノワイヤをチャネルとするMISFETと従来型素子を同一基板上に集積化させたサンプルホールド(S/H)回路を試作し、基本動作を確認した。さらに、ナノワイヤFETの特性を活かしたS/H回路を新たに提案し、回路シミュレーションにより性能予測を行い、高分解能/超高速回路実現への見通しを得た。

研究成果

• [雑誌論文] In As Nanowire Circuits Fabricated by Field-Assisted Self-Assembly on a Host Substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: Kai Blekker, Rene Richter, Ryosuke Oda, Satoshi Taniyama, Oliver Benner, Gregor Keller, B. Muenstermann, Andrey Lysov, Ingo Regolin, Takao Waho, Werner Prost
  • 雑誌名: IEICE Trans. Electronics 巻: vol.E95-C, no.4
  • 査読あり
• [雑誌論文] A Dynamic Source-Follower Integrator and Its Application to Delta-Sigma Modulators (2011)
  • 著者名/発表者名: Ryoto Yaguchi, Fumiyuki Adachi, Takao Waho
  • 雑誌名: IEICE Trans. on Electronics 巻: vol.94-C ページ: 802-806
  • 査読あり
• [雑誌論文] 高エネルギー使用効率容量アレイを用いた逐次比較A/D変換器 (2011)
  • 著者名/発表者名: 佐々木達也, 和保孝夫
  • 雑誌名: 多値論理研究ノート 巻: vol.34 ページ: 12-1-12-6
• [学会発表] GaAs(111) B, GaAs(100), InP(111) B, InP(100)基板におけるAu微粒子を用いたInAsナノワイヤ成長 (2012)
  • 著者名/発表者名: 村上新, 船山裕晃, 下村和彦, 和保孝夫
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-03-16
• [学会発表] InAsナノワイヤの回路応用 (2012)
  • 著者名/発表者名: 和保孝夫, Werner Prost
  • 学会等名: 第59回応用物理学関係連合講演会(招待講演)
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2012-03-15
• [学会発表] InAs nanowire circuits fabricated by field-assisted self-assembly on a host substrate (2011)
  • 著者名/発表者名: Kai Blekker, Rene Richter, Oliver Benner, B. Munstermann, Andrey Lysov, Ingo Regolin, Werner Prost, Ryosuke Oda, Satoshi Taniyama, Takao Waho
  • 学会等名: 9th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics(TWHM2011)
  • 発表場所: Gifu, Japan
  • 年月日: 20110828-31
• [学会発表] Field-Assisted Self-Assembly of InAs Naonwires on Si substrate (2011)
  • 著者名/発表者名: Eisuke Takashima, Hiroaki Funayama, Takao Waho, Kazuhiko Shimomura, and Werner Prost
  • 学会等名: 9th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics(TWHM2011)
  • 発表場所: Gifu, Japan
  • 年月日: 20110828-31
• [学会発表] Sample-and-hold circuits using InAs nanowire FETs (2011)
  • 著者名/発表者名: Takao Waho, Satoshi Taniyama, Rene Richter, Oliver Benner, Kai Blekker, Werner Prost
  • 学会等名: 35th Workshop on Compound Semiconductor Devices and Integrated Circuits(WOCSDICE2011)
  • 発表場所: Catania, Italy
  • 年月日: 20110529-0601
• [学会発表] InAsナノワイヤMISFETの高周波特性評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 渡邉龍郎, 乙幡温, 和保孝夫, Kai Blekker, Werner Prost, Franz-Josef Tegude
  • 学会等名: 電子情報通信学会2011年ソサエティ大会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2011-09-13
• [学会発表] DCキャンセルパスを持つスイッチトソースフォロワ型サンプルホールド回路 (2011)
  • 著者名/発表者名: 森山顕矩, 谷山諭, 和保孝夫
  • 学会等名: 電子情報通信学会2011年ソサエティ大会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2011-09-13
• [学会発表] On the temporal behavior of dc and rf characteristics of InAs nanowire MISFET (2009)
  • 著者名/発表者名: Yutaka Otsuhata, Takao Waho, Kai Blekker, Werner Prost, and Franz-Josef Tegude
  • 学会等名: International Semiconductor Device Research Symposium(ISDRS 2009)
  • 発表場所: College Park, MD, USA
  • 年月日: 2009-12-11
• [図書] Short-Range Wireless Communications : Emerging Technologies and Applications (2009)
  • 著者名/発表者名: Takao Waho、John Wiley & Sons
• [備考]
  • URL: http://wwwsscd.ee.sophia.ac.jp