画像原子磁力計のためのMEMSサブミリセルの作製と評価

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21560436
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 計測工学
• 研究機関: 岩手大学
• 研究代表者: 大坊 真洋 岩手大学, 工学部, 准教授 (20344616)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 計測システム / センシングデバイス

研究概要

アルカリ金属原子に円偏光のレーザー光を照射し、外部から磁場を加えると電子が歳差運動する。この光ポンピング原子磁力計は、偏光の変化として磁場を超高感度に検出することができる。従来の磁力計はガラスによる真空デバイスなので、小型化できなかった。我々はマスクを通してのカリウムの蒸着、ガラス搬送、シリコンとガラスの陽極接合を真空中で行う装置を開発し、穴径700μm、深さ500μmのセルアレイ(5×5個)を製作した

研究成果

• [学会発表] 楕円偏光原子磁力計の楕円率依存性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 太田越寿継、大坊真洋
  • 学会等名: 平成24年度東北地区若手研究者研究発表会
  • 発表場所: 仙台高等専門学校(宮城県)
  • 年月日: 2012-03-09
• [学会発表] 両面アノーティックホンティンクによるアレイ型マイクロセルの開発 (2011)
  • 著者名/発表者名: 野崎孝弘,加賀谷祐輔,千葉寿,大坊真洋
  • 学会等名: 計測自動制御学会東北支部第264回研究集会
  • 発表場所: 東北文化学園大学(宮城県)
  • 年月日: 2011-03-11
• [学会発表] MEMS加工シリコンセルによる原子磁力計の研究 (2010)
  • 著者名/発表者名: 加賀谷祐輔,野崎孝弘,大坊真洋
  • 学会等名: 応用物理学会東北支部第65回学術講演会講演予稿集
  • 発表場所: 東北大学(宮城県)
  • 年月日: 2010-11-26
• [学会発表] 全光制御型原子磁力計による非接触半導体検査 (2010)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝平,太田越寿継,大坊真洋
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学(長崎県)
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] MEMSによるマイクロ原子磁力計セルの開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 野崎孝弘,加賀谷祐輔,大坊真洋
  • 学会等名: 平成22年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 八戸工業大学(青森県)
  • 年月日: 2010-08-27
• [学会発表] 原子磁力計による非接触半導体検査 (2010)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝平,太田越寿継,大坊真洋
  • 学会等名: 平成22年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 八戸工業大学(青森県)
  • 年月日: 2010-08-26
• [学会発表] カリウム光ポンピング原子磁力計のための偏光度検出システムの開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 太田越寿継,佐々木勝平,大坊真洋
  • 学会等名: 平成22年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 八戸工業大学(青森県)
  • 年月日: 2010-08-26
• [学会発表] 全光型原子磁力計 (2009)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝平,大坊真洋
  • 学会等名: 第70回応用物理学会学術講演会予稿集
  • 発表場所: 富山大学(富山県)
  • 年月日: 2009-09-09
• [学会発表] レーザー加熱により温度制御された原子磁力計 (2009)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝平,大坊真洋
  • 学会等名: 計測自動制御学会東北支部45周年記念学術講演会
  • 発表場所: 岩手大学(岩手県)
  • 年月日: 2009-09-07
• [学会発表] 全光制御原子磁力計の構築と磁場感度評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 佐々木勝平,大坊真洋
  • 学会等名: 平成21年度電気関係学会東北支部連合大会
  • 発表場所: 東北文化学園大学(宮城県)
  • 年月日: 2009-08-20