本研究では、コンビナトリアルスパッタリング成膜技術を駆使して、蛍光体薄膜開発の効率を飛躍的に高め、La_2O_3ベース多元系(複合)酸化物蛍光体薄膜エレクトロルミネッセンス(EL)素子、特に超高輝度青色発光薄膜EL素子の開発を行った。具体的には、La_2O_3をベースに、これまで我々のグループが開発してきた各種酸化物蛍光体(2元あるいは3元化合物)を複数組み合わせた多元系複合酸化物蛍光体を開発し、高輝度高発光効率無機薄膜EL素子の開発を行った。その結果、新規な多元系複合酸化物蛍光体を作製すると同時にその最適組成、最適発光中心添加量を決定できた。
|