2011 年度研究成果報告書

スパッタエッチングによる微細表面突起物の形成と光・熱の吸収・放出特性の解明

研究課題

研究課題/領域番号	21560729
研究種目	基盤研究(C)
配分区分	補助金
応募区分	一般
研究分野	構造・機能材料
研究機関	広島国際学院大学
研究代表者	中佐啓治郎広島国際学院大学, 工学部, 教授 (80034370)
研究分担者	久保隆広島国際学院大学, 工学部, 講師 (60309622)
研究期間 (年度)	2009 – 2011
キーワード	センサー材料・光機能材料 / プラズマ処理 / ナノ材料 / 円錐状突起物
研究概要	スパッタエッチングにより金属材料の表面に微細な突起物を形成させ、光・熱の吸収・放出特性を調べた。その結果、工具鋼に形成される微細な突起物は可視光線を99%以上、銅合金に形成される突起物は近赤外線を90%程度吸収すること、鋭い突起物は真空中の電圧印加により先端から電子放出を起こすことを明らかにした。また、突起物をもつ薄鋼板をプレス加工する場合、保護用プラスチックシートを用いれば突起物が損傷しないことを示した。

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