微細放電加工における放電遅延短絡現象の解明とその制御に関する研究

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21560740
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 筑波技術大学
• 研究代表者: 谷 貴幸 筑波技術大学, 産業技術学部, 准教授 (80279554)
• 研究分担者: 毛利 尚武 大学評価・学位授与機構, 学位審査研究部, 教授 (90126186)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 微細加工

研究概要

放電加工法は,放電によって微小なクレータを形成させ,これを繰り返すことによって加工が進行する。ピエゾステージを組み込んだZ軸ステージおよび接触検知測定回路を構成し,クレータ成形時の周囲の盛り上がりを測定した。この結果,クレータ成形時には,数msオーダーの時間で数十μmに及ぶ盛り上りが生じることが明らかとなった。この盛り上がり現象によって,極間を制御している現在の放電現象とは無関係な場所で短絡が発生していることを突き止めた。

研究成果

• [雑誌論文] Hiromitsu Gotoh, Yo-shihide Kuwabara, Shoju Aoshima, Atsutoshi Hirao, Naotake Mohri, Surface Modification Using Electrical Discharge in Air Gap (2010)
  • 著者名/発表者名: Takayuki Tani
  • 雑誌名: Proceedings of the 16thinternational symposium on electromachining ページ: 159-162
  • 査読あり
• [雑誌論文] 過渡アーク放電による金属の表面処理 (2009)
  • 著者名/発表者名: 毛利尚武, 谷貴幸
  • 雑誌名: 静電気学会誌 巻: 33 ページ: 240-245
• [雑誌論文] 走査放電加工による微細軸成形法 (2009)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸, 後藤啓光, 李珠瓊, 毛利尚武
  • 雑誌名: 電気加工学会誌 巻: 43 ページ: 187-193
  • 査読あり
• [雑誌論文] 増沢隆久,ピーリング工具を用いた微細放電加工 (2009)
  • 著者名/発表者名: 李珠瓊, 後藤啓光, 谷貴幸, 武沢英樹, 毛利尚武
  • 雑誌名: 電気加工学会誌 巻: 43 ページ: 9-14
  • 査読あり
• [学会発表] 亜鉛合金電極を用いた多角形形状の微細穴放電加工 (2011)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸,後藤啓光,毛利尚武
  • 学会等名: 電気加工学会全国大会(2011)
  • 発表場所: つくば研修センター
  • 年月日: 2011-11-25
• [学会発表] 機上成形亜鉛合金電極を用いたSi_3N_4セラミックスの放電加工 (2011)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸,後藤啓光,毛利尚武
  • 学会等名: 2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 金沢大学
  • 年月日: 2011-09-22
• [学会発表] 機上成形亜鉛合金電極による微細放電加工 (2011)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸,後藤啓光,毛利尚武
  • 学会等名: 電気加工学会第203回電気加工研究会
  • 発表場所: 名古屋工業大学
  • 年月日: 2011-07-15
• [学会発表] 複合電源による微細軸・微細穴同時加工に関する研究-多数穴加工の試み (2010)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸,後藤啓光,毛利尚武
  • 学会等名: 2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • 発表場所: 名古屋大学
  • 年月日: 2010-09-28
• [学会発表] 複合電源による微細軸・微細穴同時加工に関する研究 (2010)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸,後藤啓光,毛利尚武,福沢康
  • 学会等名: 2010年度日本機械学会年次大会
  • 発表場所: 名古屋工業大学
  • 年月日: 2010-09-06
• [学会発表] 放電加工における橋絡現象の観察 (2009)
  • 著者名/発表者名: 谷貴幸,後藤啓光,木下大地,齋治男,毛利尚武,齋藤長男
  • 学会等名: 2009年度精密工学会春季大会学術講演会
  • 発表場所: 中央大学
  • 年月日: 2009-03-11