キャピラリーを用いたクラスターイオンの収束

2011 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21604005
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 量子ビーム
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 持地 広造 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科 (40347521)
• 連携研究者: 盛谷 浩右 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20391279)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• キーワード: 表面分析 / 二次イオン質量分析 / クラスターイオン

研究概要

ガラスキャピラリー(出口径:10～140μm)を用いてアルゴンクラスターイオンビームの収束特性を調べ、イオンビームの収束率(入口と出口におけるイオン密度の比率)、キャピラリー通過によるイオンの速度およびクラスターサイズ(構成原子数)の変化を明らかにした。

研究成果

• [雑誌論文] Converging of argon cluster ion beams with a glass capillary (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Shoji, K. Iuchi, M. Izumi, K. Moritani, N. Inui, and K. Mochiji
  • 雑誌名: J. Vac. Soc. Jpn. 巻: 55 ページ: 118-120
  • URL: http://www.jstage.jst.go.jp/browse/jvsj2/-char/ja/
• [学会発表] ガラスキャピラリーを用いたアルゴンクラスターイオンビームの集束 (2011)
  • 著者名/発表者名: 正司和大、出水元基、井内健輔、盛谷浩右、乾徳夫、持地広造
  • 学会等名: 第52回真空に関する連合講演会
  • 発表場所: 東京
  • 年月日: 2011-11-18
• [学会発表] ガラスキャピラリーを用いたアルゴンクラスターイオンビームの集束 (2011)
  • 著者名/発表者名: 正司和大、井内健輔、盛谷浩右、乾徳夫、持地広造
  • 学会等名: 第72回応用物理学学術講演会
  • 発表場所: 山形
  • 年月日: 2011-08-30
• [学会発表] Converging of argon cluster ion beams with a glass capillary (2011)
  • 著者名/発表者名: K. Shoji, K. Iuchi, K. Moritani, N. Inui, and K. Mochiji
  • 学会等名: The International Symposium on SIMS and Related Techniques on Ion-Solid Interactions at Seikei University(SISS-13)
  • 発表場所: Aichi
  • 年月日: 2011-06-23