• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

2009 年度 実績報告書

凝縮相における熱化電子の大きさの研究

研究課題

研究課題/領域番号 21656238
研究機関大阪大学

研究代表者

古澤 孝弘  大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (20251374)

研究分担者 山本 洋揮  大阪大学, 産業科学研究所, 特任助教 (00516958)
キーワード放射線、X線、粒子線 / 原子・分子物理 / 原子力エネルギー / 計算物理
研究概要

本研究では、電離放射線によるイオン化によって凝縮相中に生成される電子が局在化する前の大きさ(準自由電子の波動関数の空間的広がりの程度)を明らかにすることを目的とする。特に、熱化電子の凝縮相における波動関数の空間的広がりの程度を知ることは、その後に続く放射線誘起反応を解明する上で非常に重要な問題であるが、凝縮相においてはイオン化で生成した電子は多くの場合数100fs以内に熱化し、1ps以内に何らかの形で局在化するため、局在化する前の電子の大きさを知ることは非常に困難である。本研究では実験により熱化電子の大きさを推定し、電離放射線が凝縮相に入射した直後(1ps以内)の準自由電子が関与した化学反応の記述を可能にする。
平成21年度は申請者が開発したフェムト秒パルスラジオリシス装置を用い、凝縮相の液体マトリクスとしてテトラヒドロフラン溶媒を用いることによりC37の分子構造依存性を測定した。テトラヒドロフラン中では水やアルコールと異なり、溶媒和前電子が測定されておらず、熱化した電子は直接テトラヒドロフランの溶媒シェルにトラップされ局在化し、溶媒和電子を形成すると考えられている。従って、この溶媒中で測定されるC37は熱化電子と電子捕捉剤の反応性を示すと考えられる。
[2-(Propylsulfonyloxyimino)-2,3-dihydrothiophene-3-ylidene](o-tollyl)acetonile, Di-1,3-(1-nonafulorobutylsulofonyliminyl)nonafulorobutyl]phennoxybutane, 2-[2-(Octylsulfonyloxyimino)-thiophene-3(2H)-ylidene]-2-methylphenyl)acetonile等14種類の電子捕捉剤のC37を明らかにした。シミュレーションでは、光学近似モデルからサムルールを適用して求められた20eVの低エネルギーまで適用可能な修正型ベーテ式、電子エネルギーロススペクトラ、光電子スペクトルを用いたモンテカルロシミュレーションコードを作製し、熱化電子と電子捕捉剤との反応半径を見積もることを可能とした。

  • 研究成果

    (6件)

すべて 2010 2009

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (2件)

  • [雑誌論文] Reactivity of Haloge nated Resist Polymer with Low-Energy Electrons2009

    • 著者名/発表者名
      H.Yamamoto, T.Kozawa, A.Saeki, S.Tagawa, T.Mimura, H.Yukawa, J.Onodera
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

      ページ: 06-09

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Correlation between C37 Parameters and Acid Yields in Chemically Amplified Resists upon Exposure to 75 keV Electron Beam2009

    • 著者名/発表者名
      K.Natsuda, T.Kozawa, K.Okamoto, A.Saeki, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

      ページ: 06-05

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Latent Image Created Using Small-Field Exposure Tool for Extreme Ultraviolet Lithography2009

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, H.Oizumi, T.Itani, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

      ページ: 106506

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Chemical Gradient Enhancement Methods for Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists2009

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, H.Oizumi, T.Itani, S.Tagawa
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 48

      ページ: 126004

    • 査読あり
  • [学会発表] Dynamics of Radical Cation of Poly(4-hydroxystyrene) Generated in Thin Film upon Exposure to Electron Beam2010

    • 著者名/発表者名
      K. Natsuda, T. Kozawa, K. Okamoto, A. Saeki, and S. Tagawa
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography
    • 発表場所
      San Jose, California, USA
    • 年月日
      2010-02-22
  • [学会発表] Modeling and simulation of chemically amplified resists for EUV lithography2009

    • 著者名/発表者名
      T. Kozawa and S. Tagawa
    • 学会等名
      7th Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop
    • 発表場所
      Hersbruck, Germany
    • 年月日
      2009-09-27

URL: 

公開日: 2011-06-16   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi