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2011 年度 実績報告書

凝縮相における熱化電子の大きさの研究

研究課題

研究課題/領域番号 21656238
研究機関大阪大学

研究代表者

古澤 孝弘  大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (20251374)

研究分担者 山本 洋揮  大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (00516958)
キーワード放射線、X線、粒子線 / 原子・分子物理 / 原子力エネルギー / 計算物理
研究概要

本研究では、電離放射線によるイオン化によって凝縮相中に生成される電子が局在化する前の大きさ(準自由電子の波動関数の空間的広がりの程度)を明らかにすることを目的とする。特に、熱化電子の凝縮相における波動関数の空間的広がりの程度を知ることは、その後に続く放射線誘起反応を解明する上で非常に重要な問題であるが、凝縮相においてはイオン化で生成した電子は多くの場合数100fs以内に熱化し、1ps以内に何らかの形で局在化するため、局在化する前の電子の大きさを知ることは非常に困難である。本研究では実験により熱化電子の大きさを推定し、電離放射線が凝縮相に入射した直後(1ps以内)の準自由電子が関与した化学反応の記述を可能にする。
平成23年度(最終年度)は、初年度および2年度で行った実験の捕捉実験を行うとともに、これまでの2年間で得られた知見をまとめ、電離放射線入射直後の熱化電子と電子捕捉剤の反応の定式化を行い、イオン化による二次電子放出から熱化過程および熱化から電子が局在化するまでの間の電子の反応のシミュレーションを可能とした。エネルギー付与直後の反応中間体の空間分布、及び、その反応性は、電離放射線によって生成される最終生成物の量を大きく左右するため、その過程をシミュレーションにより定量的に議論・予測可能とした意義は大きい。

  • 研究成果

    (4件)

すべて 2011

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] Thermalization Distance of Electrons Generated in Poly(4-hydroxystyrene) Film Containing Acid Generator upon Exposure to Extreme Ultraviolet Radiation2011

    • 著者名/発表者名
      T. Kozawa and S. Tagawa
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 50巻 ページ: 030209

    • DOI

      DOI:10.1143/JJAP.50.030209

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Determination of Optimum Thermalization Distance Based on Trade-off Relationship between Resolution, Line Edge Roughness, and Sensitivity of Chemically Amplified Extreme Ultraviolet Resists2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa, S.Tagawa
    • 雑誌名

      J.Photopolym.Sci.Technol.

      巻: 24 ページ: 137-142

    • 査読あり
  • [雑誌論文] Geminate Charge Recombination in Liquid Alkane with Concentrated CC14 : Effects of CC14 Radical Anion and Narrowing of Initial Distribution of C12011

    • 著者名/発表者名
      A.Saeki, N.Yamamoto, Y.Yoshida, T.Kozawa
    • 雑誌名

      J.Phys.Chem.A

      巻: 115 ページ: 10166-10173

    • DOI

      10.1021/jp205989r

    • 査読あり
  • [学会発表] Reaction of thermalized electrons in resist materials2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kozawa
    • 学会等名
      14th International Congress of Radiation Research
    • 発表場所
      Warsaw, Poland(招待講演)
    • 年月日
      2011-08-31

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公開日: 2013-06-26  

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