| 研究課題/領域番号 |
21686087
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| 研究種目 |
若手研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
原子力学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
大島 明博 大阪大学, 産業科学研究所, 特任研究員 (80398924)
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| 研究協力者 |
田川 精一 大阪大学, 産業科学研究所, 特任教授 (80011203)
鷲尾 方一 早稲田大学, 理工学術院, 教授 (70158608)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| キーワード | 量子ビーム / ナノ粒子 / 金属還元 / アレイ電極 / プラズマ / ナノ加工 |
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| 研究概要 |
架橋体を含むパーフルオロ系高分子に対して、各種イオンビームにより、マイクロ～ナノサイズで制御された精密微細加工を行った。その後、グラフト重合により機能化し銀イオンを担持した試料を調製した。量子ビームにより固相中直接還元を行い、SEM-EDXやXPSで構造解析を行った結果、純銀ナノ粒子を確認できた。また、加工体を観察した結果、60. m角のアレイ状の電極を作製ができた。また、直接パターニングにより幅800nmの金属還元微細加工体の作製に成功した。
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