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我々は、光音響分光法(Photoacoustic Spectroscopy ; PAS)による非侵襲血糖値測定システムの開発を続け、測定精度の向上を図ると共に、装置の小型化を進めている。最近、非観血に加え、連続的な血糖値測定に対する要望が高まりつつある。血糖値の連続的な測定を実現するためには、システムの低消費電力化、小型化が必須の課題であり、そこで、本研究課題は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を利用し、小型かつ低消費電力な光音響式血糖センサの開発を行っている。
MEMS技術を用いた構成要素の設計では、実際の半導体微細加工のプロセスを考慮して行う必要があるため、プロセス解析ツールが用いられている。このソフトウェアを利用して、当初の計画していた励起光源部と一体化された信号検出器を設計したところ、加工時間が大幅に掛かり、年限度内に計画を遂行できない可能性が判明したことや製造会社との打合せにより費用もかさむこともあり、MEMS技術による静電容量式マイクのみから構成される光音響式血糖値センサを設計することとした。
また、微細加工技術によりセンサの空間容積を極小にできることから、センサの高感度化が期待できるが、小容積化により高感度が低下する要因を検討するため、マイクロホンや光ファイバを設置する空間以外の無駄な部分を細径化したセンサについて光音響現象を模擬した解析と実験とを行い、その結果を比較した。そこで、試料を固定しない条件では、試料自体の振動により検出感度が低下することが判明した。そのため、次年度以降では、生体を対象とした場合に検出感度を低下させない測定部位の固定方法について、光音響現象を模擬した解析と実験より検討することとした。
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