2010 年度研究成果報告書

新規な酸化物清浄表面作製法in-situ固相成長法とSTMへの適用

研究課題

研究課題/領域番号	21710096
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	ナノ構造科学
研究機関	財団法人神奈川科学技術アカデミー (2010) (財)神奈川科学技術アカデミー (2009)
研究代表者	中尾祥一郎財団法人神奈川科学技術アカデミー, 重点研究室透明機能材料グループ, 研究員 (50450771)
研究期間 (年度)	2009 – 2010
キーワード	表面・界面ナノ構造 / 酸化物・STM
研究概要	様々な酸化状態のターゲットを用いてパルスレーザー蒸着法によって非晶質ガラス基板上にNbO_2薄膜が固相成長によって作製された。ターゲットの酸化状態に依存する最適化された条件において、弱く面直に配向した(110)膜が得られた。Ta:SnO_2やW:SnO_2等の機能性薄膜が(110)NbO_2薄膜上に形成され、性能の向上が確認された。結晶化前の非晶質状態の表面がSTM/STSによって調べられた。STM像は原子分解能を持たない不定形の構造を示し吸着大気の存在が示唆された。STMチャンバー中でin-situ固相成長を行うことで原子分解能を伴ったSTM像が期待できる。