プラズマスパッタリングとプラズマ流を利用した微粒子含有酸化亜鉛薄膜熱電素子の開発

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21740401
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: プラズマ科学
• 研究機関: 佐賀大学
• 研究代表者: 三沢 達也 佐賀大学, 大学院・工学系研究科, 助教 (70346873)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: 放電プラズマ焼結プロセス / プラズマスパッタリング / 熱電変換材料 / 酸化亜鉛セラミックス / 金属酸化物薄膜

研究概要

高性能の熱電薄膜材料の実現の為に,放電プラズマ焼結プロセスにおける内部構造制御のメカニズムの解明と,プラズマスパッタリングとプラズマ流を併用した微粒子含有酸化亜鉛薄膜のプラズマ成膜装置の開発を行った.

研究成果

• [雑誌論文] Influence of Internal Pulsed Current on the Sintering Behavior of Pulsed Current Sintering Process (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Misawa, N.Shikatani, Y.Kawakami, T.Enjoji, Y.Ohtsu
  • 雑誌名: Materials Science Forum vol.638-642 ページ: 2109-2114
• [雑誌論文] Microstructure and Thermoelectric Properties of Al-doped ZnO Sintered Body (2010)
  • 著者名/発表者名: N.Shikatani, T.Misawa, Y.Kawakami, M.Ohta
  • 雑誌名: Materials Science Forum Vol.638-642 ページ: 2172-2177
• [雑誌論文] 放電プラズマ焼結プロセスにおける焼結試料の構造形成に対する試料内部電流の効果 (2009)
  • 著者名/発表者名: 三沢達也, 鹿谷昇, 川上雄士, 円城寺隆志, 川原正和, 大津康徳
  • 雑誌名: 粉体および粉末冶金 第56巻 ページ: 744-751
• [学会発表] Characteristics of Al-doped ZnO thermoelectric materials using Spark Plasma Sintering Process (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Misawa, N.Shikatani, Y.Kawakami, T.Enjoji, Y.Ohtsu
  • 学会等名: 27th Symposium of Plasma Processing
  • 発表場所: Yokohama Port Opening Plaza, Yokohama.
  • 年月日: 20100201-20100203
• [学会発表] Orientation of ceramics using ZnO nano powder sintered by Spark Plasma Sintering Process (2010)
  • 著者名/発表者名: T.Misawa, S.Ishibashi, T.Hirai, N.Shikatani, Y.Kawakami, T.Enjoji, M.Kawahara, Y.Ohtsu
  • 学会等名: 20th MRS-Japan Academic Symposium
  • 発表場所: Yokohama Port Opening Plaza, Yokohama Media & Communications Center, Hatoba Kaikan, Yokohama.
  • 年月日: 2010-12-20
• [学会発表] パルス通電焼結プロセス中の電流評価と制御 (2010)
  • 著者名/発表者名: 三沢達也
  • 学会等名: 中部電気利用基礎研究振興財団開催助成講演会「パルス通電焼結基礎科学討論会」
  • 発表場所: かながわサイエンスパークKSP西棟7階711号室
  • 年月日: 2010-12-11
• [学会発表] 内部電流と加熱プロセスを制御した放電プラズマ焼結プロセスの開発 (2010)
  • 著者名/発表者名: 三沢達也, 石橋奏太朗, 平井智紀, 鹿谷昇, 川上雄士, 円城寺隆志, 川原正和, 大津康徳
  • 学会等名: 粉体粉末冶金協会平成22年度秋季大会
  • 発表場所: 京都大学百周年時計台記念館
  • 年月日: 2010-11-11
• [学会発表] 放電プラズマ焼結プロセスを利用した酸化亜鉛ナノ粒子焼結体の特性 (2010)
  • 著者名/発表者名: 三沢達也, 石橋奏太朗, 鹿谷昇, 平井智紀, 川上雄士, 円城寺隆志, 川上正和, 大津康徳
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会(秋季大会)
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-17
• [学会発表] 放電プラズマ焼結プロセスを用いたZnO焼結体の配向性に対する内部電流と加圧力の影響 (2010)
  • 著者名/発表者名: 三沢達也, 鹿谷昇, 川上雄士, 円城寺隆志, 川原正和, 大津康徳
  • 学会等名: 粉体粉末冶金協会平成22年度春季大会
  • 発表場所: 早稲田大学国際会議場
  • 年月日: 2010-05-26
• [学会発表] Generation of Al-doped Thermoelectric Materials using Spark Plasma Sintering Method (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Misawa, N.Shikatani, Y.Kawakami, T.Enjoji, Y.Ohtsu
  • 学会等名: Seventh Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE 2009)
  • 発表場所: Bexco Conference Center, Korea.
  • 年月日: 2009-09-23
• [学会発表] Influence of Internal Pulsed Current on the Sintering Behavior of Pulsed Current Sintering Process (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Misawa, N.Shikatani, Y.Kawakami, T.Enjoji, Y.Ohtsu
  • 学会等名: International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials(Thermec'2009)
  • 発表場所: Maritim Hotel, Berlin, Germany(Invited talk).
  • 年月日: 2009-08-27
• [学会発表] 放電プラズマ焼結プロセスにおける焼結試料の構造形成に対する試料内部電流の効果 (2009)
  • 著者名/発表者名: 三沢達也, 鹿谷昇, 川上雄士, 円城寺隆志, 川原正和, 大津康徳
  • 学会等名: 粉体粉末冶金協会平成21年度春季大会
  • 発表場所: 京都工芸繊維大学(招待講演)
  • 年月日: 2009-06-03
• [図書] 関西パルス通電懇話会(パルス通電場プロセッシング総説集)(関西パルス通電懇話会編集委員会編)(第1版第1刷発行, 編集:関西パルス通電懇話会編集委員会(編集代表者巻野勇喜雄)) (2010)
  • 著者名/発表者名: 三沢達也(分担執筆)
  • 総ページ数: 50-59
  • 出版者: 株式会社ティー・アイ・シー
• [備考] ホームページ等