研究課題
若手研究(B)
走査型電解蒸発型質量分析顕微鏡に応用するためのプローブとして、ジッパー形静電アクチュエータを集積化したプローブとその作製プロセスを開発した。ピックアップ機能に十分な最大340μmの変位と表面走査に必要な10N/m以上のバネ定数を両立できるバネ硬化機能を有しており、このプローブを用いた表面走査顕微鏡像の取得および、誘電体パーティクルの拾い上げと再配置をデモンストレーションした。以上の成果により、半導体微細加工技術を用いたアクチュエータ集積化プローブの表面原子を拾い上げ化学特性をマッピングするための走査型化学プローブ顕微鏡応用が期待される。
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Review of Scientific Instruments 81
ページ: "083702-1"-"083702-6"
電気学会論文誌E Vol.130No.2
ページ: 59-60
http://www.nme.mech.tohoku.ac.jp/