2011 年度研究成果報告書

EBSD法による3次元ナノ空間ひずみ場スキャニング技術の開発と歪シリコンへの応用

研究課題

研究課題/領域番号	21760086
研究種目	若手研究(B)
配分区分	補助金
研究分野	機械材料・材料力学
研究機関	名城大学
研究代表者	來海博央名城大学, 理工学部, 教授 (30324453)
研究期間 (年度)	2009 – 2011
キーワード	EBSD法 / ひずみ測定 / ナノ空間分解能 / 菊池パターン / 弾性変形 / 塑性変形
研究概要	本研究では, EBSD法を用いたナノ空間分解能での2次元ならびに3次元ひずみスキャニング技術として弾性ならびに塑性ひずみ評価を行った.前者では, SEM内4点曲げ試験機を製作し, Siへ1000μstのひずみを負荷した際の菊池パターンのバンド幅変化を捉え,ひずみ評価の可能性を示した.後者では結晶方位データを用いた塑性ひずみ評価を検討し,塑性ひずみに対して線形的に変化するGRODが有効であった.最後に,シリアルセクショニングとEBSD評価による3次元的な塑性ひずみ評価技術で3次元的な結晶方位回転が観察された.