非分割型光電変換素子による超高感度高分解能ナノラジアン角度センサに関する研究

2010 年度 研究成果報告書

• 研究課題/領域番号: 21760094
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 荒井 義和 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20455801)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• キーワード: 角度計測 / 非分割型光電変換素子 / オートコリメーション法 / 多自由度

研究概要

本研究は、角度計測において一般的に応用されているオートコリメーション法における角度検出感度を向上させるためスポットサイズを小さくすると、光スポットの強度分布の最も強い中心部分が分割型PD隙間に埋もれてしまう事によるS/Nの低下が起こる従来技術の欠点を解消するため、非分割型光電変換素子を用いることによって微小角度変位量の測定が可能な角度センサを提供し、その能力を実証した。

研究成果

• [学会発表] シングルセルPDを用いた角度センサに関する研究 (2010)
  • 著者名/発表者名: 菅野哲生, 高偉, 荒井義和
  • 学会等名: 2010年度精密工学会東北支部講演会
  • 発表場所: 岩手県工業技術センター, 盛岡市
  • 年月日: 2010-11-27
• [学会発表] laser Autocollimator of using Single-cell Photodiodes (2010)
  • 著者名/発表者名: Tetsuo Sugeno, Hiroshi Muto, Yoshikazu Arai, Wei Gao
  • 学会等名: The 4th International Conference on Positioning Technology 2010
  • 発表場所: 釜山, 大韓民国
  • 年月日: 2010-11-25
• [学会発表] Development of a highly sensitive angle sensor by using single-cell photodiodes (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Suzuki, Y. Saito, Y. Arai, W. Gao
  • 学会等名: The 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
  • 発表場所: 北九州市
  • 年月日: 2009-11-11
• [学会発表] 非分割型PDを用いた高感度角度センサに関する研究 (2009)
  • 著者名/発表者名: 鈴木達郎, 齋藤悠佑, 荒井義和, 高偉
  • 学会等名: 日本機械学会2009年度年次大会
  • 発表場所: 盛岡市
  • 年月日: 2009-09-16
• [学会発表] 非分割型受光素子を用いた高感度高分解能角度センサの開発-原理および光学系- (2009)
  • 著者名/発表者名: 荒井義和, 鈴木達郎, 齋藤悠佑, 高偉
  • 学会等名: 2009年度砥粒加工学会学術講演会
  • 発表場所: 行田市
  • 年月日: 2009-09-03